인테그리스, 한국기술센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비 도입
인테그리스, 한국기술센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비 도입
  • 전동엽 기자
  • 승인 2019.09.16 18:25
  • 댓글 0
이 기사를 공유합니다

한국기술센터에 도입된 CMP 슬러리 필터 테스트 장비
한국기술센터에 도입된 CMP 슬러리 필터 테스트 장비

특수 케미컬·첨단 소재 솔루션 기업 인테그리스는 16일 수원 광교 한국기술센터에 반도체 화학기계연마(CMP) 슬러리 필터 테스트 장비를 도입했다고 발표했다. 인테그리스는 한국기술센터에서 반도체 필터 테스트와 첨단 증착 등 소재 연구를 하고 있다.

인테그리스는 이번 장비 도입으로 반도체 공정에서 사용하는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다고 설명했다. 아울러 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 반도체 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다고 강조했다.

클린트 헤리스 인테그리스 미세오염 제어 부문 수석부사장은 "한국기술센터에 지속 투자할 것"이라면서 "인테그리스 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원할 것"이라고 말했다.



댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 0
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.

  • 서울특별시 강서구 공항대로 213 (보타닉파크타워2) 615, 616호
  • 대표전화 : 02-2658-4707
  • 팩스 : 02-2659-4707
  • 청소년보호책임자 : 이수환
  • 법인명 : 주식회사 디일렉
  • 대표자 : 한주엽
  • 제호 : 디일렉
  • 등록번호 : 서울, 아05435
  • 사업자등록번호 : 327-86-01136
  • 등록일 : 2018-10-15
  • 발행일 : 2018-10-15
  • 발행인 : 한주엽
  • 편집인 : 한주엽
  • 전자부품 전문 미디어 디일렉 모든 콘텐츠(영상,기사, 사진)는 저작권법의 보호를 받은바, 무단 전재와 복사, 배포 등을 금합니다.
  • Copyright © 2019 전자부품 전문 미디어 디일렉. All rights reserved. mail to powerusr@thelec.kr
ND소프트