특수 케미컬·첨단 소재 솔루션 기업 인테그리스는 16일 수원 광교 한국기술센터에 반도체 화학기계연마(CMP) 슬러리 필터 테스트 장비를 도입했다고 발표했다. 인테그리스는 한국기술센터에서 반도체 필터 테스트와 첨단 증착 등 소재 연구를 하고 있다.
인테그리스는 이번 장비 도입으로 반도체 공정에서 사용하는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다고 설명했다. 아울러 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 반도체 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다고 강조했다.
클린트 헤리스 인테그리스 미세오염 제어 부문 수석부사장은 "한국기술센터에 지속 투자할 것"이라면서 "인테그리스 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원할 것"이라고 말했다.
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