주성엔지니어링, 산업부 주최 '소부장 으뜸기업' 선정
주성엔지니어링, 산업부 주최 '소부장 으뜸기업' 선정
  • 김동원 기자
  • 승인 2021.01.11 17:38
  • 댓글 0
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시공간분할 ALD 증착장비 기술 높게 평가

주성엔지니어링이 정부로부터 반도체 제조 기술력을 인정받았다.

주성엔지니어링은 11일 산업통상자원부가 주최한 '소부장 으뜸기업 비전 선포식'에서 반도체 증착 부품·장비 제조기술 핵심전략기술 부문 소부장 으뜸기업에 선정됐다고 밝혔다. 시공간분할 ALD 증착장비 기술을 개발한 점이 높게 평가됐다.

ALD는 화학물질인 프리커서(전구체)와 특정 리액턴트(반응 물질)를 반복 주입해 웨이퍼에 화학반응을 일으켜 박막을 만드는 공법이다. 웨이퍼 표면에만 반응이 일어나 막 두께를 줄이면서 정교한 박막을 만들 수 있다. 기존 화학장치공법(CVD)은 공정 중 챔버 진공 공간과 웨이퍼 모두에서 일어나 박막을 만들었다.

시공간분할 기술은 박막 재료 분사에 시간 차이를 둘 수 있다. 더 정교한 박막 제조가 가능하다. 이 기술을 개발한 건 주성엔지니어링이 처음이다. 향후 차세대 디스플레이 및 35% 이상 고효율 태양광 등 다앙한 분야까지 확대 적용될 것으로 전망된다.

주성엔지니어링 관계자는 "작년 초 완공된 용인 R&D센터를 통해 앞으로도 공정 및 하드웨어 혁신을 이루겠다"면서 "빠르게 변화하는 반도체, 디스플레이, 태양광 산업에서 경쟁력을 유지하겠다"고 밝혔다.

소부장 으뜸기업에는 주성엔지니어링과 함께 경인양행, 동진쎄미켐, 일진머티리얼즈, 상아프론테크 등 22개 기업이 선정됐다.



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