주성엔지니어링이 국산 첫 10.5세대 디스플레이 박막트랜지스터(TFT) 증착용 CVD 장비를 만든다. 첫 납품처는 LG디스플레이 경기 파주시 P10 공장의 10.5세대 대형 OLED 생산라인이다. 10세대 이상 TFT 증착장비는 세계 1위 디스플레이 장비업체 미국 어플라이드머티리얼즈(AMAT)가 독점했던 시장이다.
7일 업계에 따르면 LG디스플레이는 최근 주성엔지니어링에 10.5세대 대형 OLED 라인용 TFT 증착장비 1대를 발주(PO)했다. LG디스플레이는 작년초에 구매의향서(LOI)를 발송했지만 투자지연으로 LOI부터 PO까지 약 1년이 걸렸다. 장비가격은 200억원이 넘는 것으로 전해졌다. 이르면 올해 하반기 늦어도 내년초에는 장비 납품이 이뤄질 것으로 보인다.
10세대 이상 TFT 증착장비 시장은 그동안 미국 어플라이드머티리얼즈(AMAT)가 독점했었다. 2009년 양산을 시작한 샤프(현 SDP)의 세계 첫 10세대(2880x3130) LCD생산라인을 시작으로 중국 BOE, CSOT 등에 장비를 공급해왔다.
BOE는 2015년 세계 첫 10.5세대(2940x3370) LCD 생산라인(B9)을 중국 안후이성 허페이시에 착공, 작년 3월 양산을 시작했다. 현재 램프업 단계다. 작년말 월 9만장 달성 후 설계 생산능력인 12만장까지 생산능력을 올리고 있는 것으로 전해졌다. BOE는 후베이성 우한시에 짓고 있는 두번째 10.5세대 LCD 생산라인(B17)에서 작년 11월 '건물 골격완성' 기념식을 했다.
CSOT는 11세대(BOE 10.5세대와 같은 크기) LCD 생산라인이 있는 광둥성 선전시 T6공장에서 작년 11월 생산을 시작했다. T6공장은 올해 연말까지 설계 생산능력인 월 9만장까지 생산능력을 끌어올릴 계획이다. CSOT는 T6생산발표와 동시에 바로 옆에 두번째 11세대 생산라인인 T7공장을 착공했다.
대만 폭스콘에 인수된 SDP는 중국 광둥성 광저우시정부와의 합작법인 사카이SIO(超视堺国际科技广州)를 통해 2017년 광저우시에 10.5세대 LCD생산라인을 착공, 올해 10월 양산예정이다.
최근 몇 년간 중국에서 벌어진 10.5세대 LCD 투자에서 국내 디스플레이장비업체 가운데 디엠에스, 케이씨텍 등이 세정·박리 장비를 공급하며 기회를 잡았지만 주성엔지니어링은 그렇지 못했다.
주성엔지니어링 관계자는 "당시에 태양전지 사업에 치중하느라 대응하지 못한 측면이 있다"고 말했다. 주성엔지니어링의 작년 매출 2640억원 가운데 반도체 장비와 디스플레이 장비 매출 비중은 각각 56.0%, 43.3%다. 태양전지 장비 비중은 1%가 안된다.
주성엔지니어링은 오랜 고객사인 LG디스플레이에서 첫 10세대 이상 TFT 증착장비 납품 경험을 쌓게 됐다. 주성엔지니어링 관계자는 "TFT 증착공정에서 LCD와 대형 OLED간 본질적 차이는 없다"며 "주입되는 가스 구성이 다소 달라진다"고 했다.
TFT 증착공정용 CVD 장비는 주입된 기체 상태(Vapor)물질의 화학결합(Chemical) 결과물을 박막(Thin Film)형태로 유리기판에 증착(Deposition)시키는 데 사용된다. 식각 등 관련 공정을 거친 후 얇은 막으로 된 트랜지스터(Transistor, TFT)가 형성된다.
주성엔지니어링은 LG디스플레이가 최근 투자한 대형 OLED 생산라인인 8.5세대 광저우 공장에도 TFT 증착장비를 공급했었다. 9대 장비 가운데 주성엔지니어링이 5대, 어플라이드머티리얼즈가 4대를 공급했던 것으로 전해졌다. 황철주 주성엔지니어링 대표는 LG디스플레이 장비업체 협력모임인 베스트클럽 회장을 맡고 있다.
