UPDATED. 2020-05-27 15:26 (수)
KLA, 고성능 초미세 칩 계측장비 신제품 출시
KLA, 고성능 초미세 칩 계측장비 신제품 출시
  • 한주엽 기자
  • 승인 2020.02.26 14:20
  • 댓글 0
이 기사를 공유합니다

오버레이 계측 시스템 아처750, 트랜지스터 3D 구조 모니터링 스펙트라셰이프 11k

반도체 공정 계측장비 전문업체 KLA는 신형 오버레이 계측 시스템인 아처(Archer) 750과 트랜지스터 및 메모리 셀 등의 3D 구조를 모니터링할 수 있는 스펙트라셰이프(SpectraShape) 11k 출시했다고 26일 밝혔다.

아처 750은 칩 생산 시 각 레이어가 제대로 정렬됐는지를 검증하는 장비다. 이전에는 산란계측(scatterometry-based) 기반 오버레이 장비에서만 가능했던 생산성 수준을 달성했다고 KLA는 설명했다. 스펙트라셰이프 11k는 광학 임계치수(CD:Critical Dimension) 및 형상을 계측하는 장비다. 회사는 이전에는 접근 불가능했던 웨이퍼 형상을 볼 수 있게 해 준다고 강조했다.

존 매드슨 KLA 계측 부서 부사장은 "첨단 칩에 새로운 구조와 신규 물질이 접목되면서 IC 업체는 원자 단위로 측정을 해야 하는 상황에 직면해 있다"면서 "KLA 장비는 고품질 칩을 비용 효율적으로 생산할 수 있게끔 돕는다"고 말했다.

아처750과 스펙트라셰이프 11k는 글로벌 IC 제조업체 인증을 거쳐 현재 생산 라인 내에서 가동 중이다.


댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 0
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.

  • 서울특별시 강서구 공항대로 213 (보타닉파크타워2) 615, 616호
  • 대표전화 : 02-2658-4707
  • 팩스 : 02-2659-4707
  • 청소년보호책임자 : 이수환
  • 법인명 : 주식회사 디일렉
  • 대표자 : 한주엽
  • 제호 : 디일렉
  • 등록번호 : 서울, 아05435
  • 사업자등록번호 : 327-86-01136
  • 등록일 : 2018-10-15
  • 발행일 : 2018-10-15
  • 발행인 : 한주엽
  • 편집인 : 한주엽
  • 전자부품 전문 미디어 디일렉 모든 콘텐츠(영상,기사, 사진)는 저작권법의 보호를 받은바, 무단 전재와 복사, 배포 등을 금합니다.
  • Copyright © 2020 전자부품 전문 미디어 디일렉. All rights reserved. mail to powerusr@thelec.kr
ND소프트