| 출처 : 아이지웨이 | 12월 14일
○나우라, ICP 식각장비 1000대 납품
- 나우라가 베이징 이좡(亦庄)에서 ‘ICP 식각장비 1000대 인도식’을 개최했다고 공식 홈페이지를 통해 발표했음.
- 현재 나우라의 식각기술은 직접회로, LED, 선단 패키징, 전력반도체, MEMS, 화합물 반도체, OLEDos(OLED-on-silicon) 등 다양한 분야에 적용되고 있음.
- 특히 12인치 ICP 식각장비는 고객사의 28나노 공정 및 국산화 실현에 기여하는 동시에 14/7나노 SADP/SAQP, 첨단 메모리, 3D TSV 등 공정에서도 매우 중요한 역할을 발휘함.
○식각기술 연구개발 20년차 나우라
- 2001년 설립과 동시에 식각기술 연구개발 착수.
- 2004년 장비 개발 성공.
- 2005년 첫 8인치 ICP 식각장비 고객사에 납품.
- 2007년 국가과학기술진보 2등상 수상
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