중국 포토마스크업체 뉴웨이(路维光电, Newway Photomask Making)가 11세대 포토마스크 생산을 시작했다고 청두일보가 지난 24일 전했다. 해외업체 수입에 의존하던 중국 디스플레이업계의 벨류체인 핵심품목을 국산화했다고 중국 언론은 평했다.
청두일보는 "청두공장에서 생산되는 11세대 제품의 각 지표가 국제수준에 도달했고 어떤 것은 국제 수준을 넘기도 한다”는 뉴웨이 관계자의 말을 인용해 "고세대 포토마스크의 국산화를 이뤘다"고 보도했다.
현지 보도에 따르면, 뉴웨이는 쓰촨성(四川) 청두시(成都)에 고세대 포토마스크 생산라인 6개를 만들기로 했다. 이번에 생산을 시작한 청두 공장에는 11세대와 함께 8.5세대 생산라인이 각각 한개씩 깔렸다. 1기투자 금액은 약 2000억원(12억위안)이다. 나머지 2기투자 역시 곧 집행될 것으로 전해졌다.
포토마스크는 반도체 공정 설계도에 해당한다. 반도체 제조과정은 패턴 복사의 연속인데, 각 층마다 적용할 패턴이 포토마스크에 새겨져 있다. 이 패턴은 기판유리인 블랭크(blank)마스크 위에 금속인 크롬을 올려 만든다. 포토마스크에 빛을 쬐면, 크롬에 막힌 부분을 제외하고 유리를 통과한 빛이 패턴을 구현한다. 디스플레이를 구동하는 박막트랜지스터(TFT)를 만드는데 이러한 공정이 사용된다.
중국 신삼판(新三板)에 등록된 뉴웨이는 2017년 1억위안(166억원)의 매출을 올렸다. 신삼판은 중국판 코넥스에 해당한다. 청두일보는 "4.5세대와 6세대를 생산하던 뉴웨이가 8.5세대, 11세대 등 고세대 제품 생산업체로 도약했다"고 했다. 지난해 6월말 기준, 최대주주는 지분 45%을 보유한 두빙우(杜武兵) 사장이다.
지난해 1월 메이저 포토마스크업체인 미국 포트로닉스는 안후이성(安徽) 허페이시(合肥) 가오신구(高新区)에 10.5세대 포토마스크 공장을 착공했다. 투자액은 1700억원(10억위안) 이상이다. 일본 알박(Ulvac)도 같은 해 9월 같은 크기의 포토마스크 공장을 착공했다. 알박의 투자액은 포트로닉스의 절반인 850억원(5억위안) 가량이다. 두 곳 모두 올해 생산을 시작할 것으로 전망된다. 중국에서 10.5세대와 11세대는 같은 크기를 지칭한다.
