쎄믹스, 200mm 웨이퍼 프로버 시장 진입
쎄믹스, 200mm 웨이퍼 프로버 시장 진입
  • 한주엽 기자
  • 승인 2019.01.18 20:50
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오퍼스 미니 공개, 구조적 혁신으로 신뢰성 높여
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
쎄믹스 오퍼스 시리즈.
쎄믹스 오퍼스 시리즈.

반도체 웨이퍼 프로버(Prober) 장비 전문업체 쎄믹스가 200mm 시장에 첫 진출한다. 쎄믹스는 2000년 첫 창업 후 300mm 프로버 장비를 개발, 상용화해 성장했다. 그 동안 공략하지 않았던 200mm 장비를 내놓음에 따라 올해 40% 이상 매출 성장을 이루겠다는 것이 쎄믹스의 목표다.

정일석 쎄믹스 영업팀 전무는 “신형 200mm 웨이퍼 프로버 장비 오퍼스(OPUS) 미니를 세미콘 코리아 2019에 선보일 예정”이라면서 “200mm가 전체 프로버 시장에서 차지하는 비중은 30~40%인데, 이 영역을 공략할 수 있다는 점에서 기대감이 크다”고 말했다.

신 장비는 주요 고객사가 요구하는 구조 혁신도 이뤘다. 기존 프로버는 무게가 1톤 안팎의 무거운 헤드를 움직여 평탄도를 맞췄다. 쎄믹스 신 장비는 헤드가 아닌 아래에서 웨이퍼를 고정하는 척(Chuck)을 움직인다. 정 전무는 “헤드가 아닌 척을 움직이면 신뢰성을 더 높일 수 있다”면서 “위에서 누르는 하중을 견디면서 수 마이크로미터 단위로 미세하게 척을 움직이는 것이 쉬운 기술이 아니다”라고 설명했다. 이러한 구조 혁신은 300mm 프로버 장비에도 그대로 적용된다.

정 전무는 “전 세계 웨이퍼 프로버 시장 규모는 연간 8000억원~1조원 규모로 추정된다”면서 “경쟁력을 길러 세계 1위 점유율을 달성하겠다”고 말했다.

쎄믹스는 웨이퍼 프로버 단일 제품으로 연매출 5000억원 이상을 기록하고 전체 매출이 1조원 이상인 종합 반도체 장비 회사가 되는 것이 장기 비전이다. 쎄믹스는 2017년 498억원 매출을 올렸다.

프로버는 웨이퍼 단계에서 수행되는 마지막 검사 공정을 수행하는 장비다. 프로브카드(ProbeCard)를 웨이퍼에 정확하게 접촉시켜주는 역할을 한다.


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