반도체 질량유량제어기(MFC:Mass Flow Controller)가 주력인 엠케이피가 MFC 시장에서 외국기업과 본격 경쟁에 나선다. 까다로운 식각 공정에서도 사용할 수 있는 압력식 MFC를 개발해 선도업체를 추격하겠다는 전략이다.

엠케이피 압력식 MFC인 MARU 9000 시리즈는 반도체 공정 미세화에 적당한 제품이다. 기존의 열식 MFC보다 제어 속도가 빠르고 정확도 역시 높다. 반도체 공정에서 사용자가 원하는 질량유량을 제어할 수 있어, 극소량의 유량을 정밀 제어해야 하는 식각 등 초미세공정에 적합하다.

국내 MFC 시장에선 미국 피보탈과 일본 호리바가 지배적 업체다. 엠케이피가 자체 기술로 개발한 MARU 9000 시리즈는 반도체 공정에서 가장 까다로운 식각 공정 외에도 화학기상증착(CVD), 메탈 공정 등 반도체 제조 전공정에서 사용할 수 있다. 삼성전자의 장비업체에도 납품하는 등 여러 공정에 엠케이피 제품이 적용돼 있다.

엠케이피의 기존 열식 장비인 MARU 7000 시리즈는 CVD 시장을 노리는 제품이다. MARU 7000 시리즈는 CVD 외에도 이온주입(IMP), 금속, 확산(Diffusion) 등에서 사용할 수 있다.

엠케이피 본사는 경기도 화성에 있다. 주요품목은 MFC, 질량유량계(MFM:Mass Flow Meter) 등이다. 2016년 엠케이프리시젼에서 독립했고 직원은 52명이다. 중국, 대만 시장에 진출했고, 앞으로 미국, 유럽, 인도 등에 진출할 계획이다. 대표적인 질량유량 토털 솔루션 업체가 되는 것이 목표다.

이기종 기자 다른기사 보기