“국내 유일 전공정 계측검사 전문회사 오로스테크놀로지”
“국내 유일 전공정 계측검사 전문회사 오로스테크놀로지”
  • 한주엽 기자
  • 승인 2019.01.03 14:57
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지난해 매출 두 배 성장
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
오로스 신형 오버레이 장비 800n.
오로스 신형 오버레이 장비 OL-800n.

오로스테크놀로지는 국내 유일 오버레이 계측장비 전문 업체다. 국내 대형 메모리 제조업체는 전체 오버레이 장비 중 절반 가량을 오로스테크놀로지 장비로 사용하고 있다.

지난해 매출은 전년 대비 두 배 이상 달성했다. 2017년 오로스테크놀로지 매출은 108억7000만원이었다. 회사 관계자는 “매년 1.5~2배 매출 성장을 목표로 삼고 있다”고 말했다. 오로스테크놀로지는 지난해 중국 시장 진출, 일본 시장 진출을 위한 기본 토대를 마련하는 성과를 이뤄냈다.

반도체 웨이퍼는 가공되기까지 패턴을 찍고, 물질을 덮고, 깎고, 씻는 과정의 연속이다. 가공을 위해 처음 웨이퍼를 투입하면 2~3개월 동안 이런 과정이 수백회는 반복돼야만 완성 웨이퍼가 나온다.

오버레이 계측 장비는 웨이퍼 위로 쌓이는 각 층의 물질이 정확하게 정렬됐는지를 확인하는 장비다. 빛을 쪼이고 반사된 빛을 확인, 분석하는 방식이다. 층을 쌓을 때마다 이 장비를 통해 나노 단위로 오차를 파악하고 노광기 위치를 보정한다. 해상력과 정밀도, 속도, 램프 수명 등이 경쟁력이다.

업계에 따르면 오버레이 계측 장비 시장 규모는 세계적으로 약 4000억~4500억원 규모로 추산된다. 미국 계측 장비 회사가 시장점유율 60~70% 이상을 차지하며 독점적 지위를 누리고 있다. 나머지 30~40%에 가까운 점유율은 네덜란드 대형 노광 장비 회사가 차지하고 있다.

전문가들은 이 시장에 뛰어들어 성과를 내는 것이 쉬운 일이 아니라고 주장했다. 오로스테크놀로지는 ‘어렵다’는 주위의 만류에도 불구, 2009년 설립 이후부터 오버레이 계측 장비를 국산화하기 위한 연구개발(R&D)에 역량을 쏟았다. 현재는 미국 계측 장비 회사 대비 차별화된 기술 및 사업 전략으로 해외 시장 공략에 적극적으로 나서며 공급 논의를 지속하고 있다.

오로스테크놀로지는 최근 여러 고객사로부터 오버레이 측정 정확성, 속도 등 주요 성능에서 경쟁사 대비 우수하다는 평가를 받았다. 지난 2017년 4월 SK하이닉스의 ‘기술혁신기업’ 중 하나로 선정되기도 했다.

회사는 4차산업혁명 시대에 대응하기 위해 기존 하이엔드 오버레이 장비 뿐 아니라 패키지, 실리콘관통적극(TSV), 차량용, 미세전자기계시스템(MEMS) 오버레이 장비 분야로도 진출할 채비를 하고 있다.


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