中 윈난성 "귀금속 스퍼터 타겟 개발, 미국 유명 반도체 회사 납품"

중국 윈난성(云南) 쿤밍귀금속연구소(昆明金属研究所)가 귀금속 스퍼터링 타겟을 개발해 미국의 유명 반도체 업체에 납품했다고 윈난성 정부가 최근 밝혔다. 윈난성 과학기술청은 "귀금속 스퍼터링 타겟 제조는 일본, 미국, 독일 등 일부 선진국이 독점하던 기술"이라면서 "그 독점을 깼다"고 했다.

윈난성과학기술청(云南省科学技术厅)에 따르면, 이번에 개발에 성공한 스퍼터링 타겟은 니켈-백금(NiPt), 코발트-크롬-백금-붕소(CoCrPtB), 루테늄(Ru), 코발트-크롬-백금-실리카(CoCrPt-SiO2) 등이다. NiPt와 CoCrPtB 제조에는 소성가공법이, Ru와 CoCrPt-SiO2에는 분말야금법이 쓰였다. 순도는 99.995wt%다.

스퍼터링(sputtering)은 아르곤(Ar)과 같은 불활성 가스를 타겟(target)에 때려 금속 원자간 결합을 끊어 튀어나오게 만든 뒤 기판(substrate)에 달라붙게 만드는 공정으로 박막형성에 사용된다. 증착되는 박막의 소스(source)가 스퍼터링 타겟(target)이다. 기판위에 귀금속을 입히려면 귀금속 스퍼터링 타겟이 필요하다. 전도율이 높고 내식성이 강한 귀금속은 반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자회로 전반에 중요 소재로 꼽힌다.

쿤밍귀금속연구소의 전신은 중화민국시기의 국립중앙연구원 공정연구소다. 1938년 공정연구소가 윈난성 쿤밍시로 이전하면서 시작됐다. 국공내전에서 패배한 국민당이 1949년 대만으로 이동하면서 내륙에 남은 기관은 중국과학원으로 이름을 바꾸었다. 국립중앙연구원이란 이름은 대만 정부에서 유지되고 있다.

중국과학원 소속이던 쿤밍귀금속연구소는 현재 윈난성귀금속그룹(云南省贵金属新材料控股集团, Sino-Precious Metal holding) 산하 법인이다. 윈난성귀금속그룹은 상해거래소 상장업체 SPM(Sino-platinum Metals, 贵研铂业)을 자회사로 두고 있다. SPM은 지난해 154억위안(약 2조5000억원)의 매출을 기록했다. 

윈난성 지방 공기업 윈난주석그룹홀딩(云南锡业集团(控股), Yunnan Tin Group(holding))이 윈난성귀금속그룹 지분 100%을 가졌다. 즉, 쿤밍귀금속연구소는 위난주석그룹홀딩의 손자회사이기도 하다. 윈난주석그룹홀딩은 자회사 윈난주석그룹을 통해 선전거래소 상장업체 윈난주석(云南锡业, Yunnan Tin)을 소유하고 있다. 윈난주석의 지난해 매출은 344억위안(5조5800억원)이다.