중국 첫 200mm 웨이퍼 반도체장비 검증라인 착공

지난달 28일 중국 첫 '200mm웨이퍼 반도체장비 검증 라인 착공식'이 후난성(湖南) 창사시(长沙) 창사가오신구(高新区)에서 열렸다. 중국 국영 군수업체 중국전자과기집단(中国电子科技集团, CETC) 산하 연구소가 프로젝트를 맡았다.

후난성 정부 관영언론 홍왕(红网)에 따르면, 이번 투자를 통해 200mm웨이퍼 반도체장비 20대를 한꺼번에 검증할 수 있는 라인 1개가 깔린다. 2021년 가동예정이다. 연 검증능력은 40대가 넘는다. 2기 투자에는 300mm웨이퍼 장비 검증능력이 추가된다. 후난가오신구 측은 연 생산액이 1600억원을 넘을 것으로 전망했다.

장비 국산화를 목적으로 국가IC산업기술혁신센터, 시장응용센터, 합작시범구 건설 등이 포함된 이번 프로젝트에 우리돈 약 4000억원(25억위안)이 투자된다. 12만2000㎡부지에 전체 건물 연면적은 12만7000㎡에 달한다.

프로젝트 실행 주체인 CETC 산하 제48연구소가 중국내 장비기술 표준을 만들고, 반도체 파운드리(foundry, 위탁생산)까지 할 예정이다. 1964년 설립된 제48연구소는 반도체, LED, 태양광발전 장비 등을 연구·개발·판매해왔다.

제48연구소 손용(孙勇) 부소장은 "전체 라인을 통한 공정 검증이 가능하다"면서 "기존 장비별 검증 방법을 대체해 장비 연구개발과 공정수요간 통로를 잇게 된다"고 했다. 이어 "장비 개발에 드는 기간과 원가를 줄이고 반도체 장비의 지속가능한 발전을 이끌 것"이라고도 했다.

IT분야 군수업체 CETC는 지난해 2039억위안(약 32조5500억원)의 매출을 기록했다. 미국 상무부 산업안보국(BIS)은 국가 안보를 이유로 올해 8월부터 CETC산하 연구소 4곳(13, 14, 38, 55연구소)에 대한 수출제한 조치를 발효했다. 48연구소는 미국의 대중수출제한 대상이 아니다.