반도체 전공정 검사·계측 장비 전문업체 넥스틴이 신형 검사 장비를 SK하이닉스에 공급했다. 데모 장비로 현재 성능 평가가 진행 중이다. 만족할 만한 결과가 나오면 매출 확대에 적잖은 보탬이 될 전망이다.
28일 업계에 따르면 넥스틴은 지난 11월 신형 검사 장비 '이지스(AEGIS)Ⅱ' 데모 버전을 SK하이닉스 양산 라인에 적용한 것으로 확인됐다. 기존 이지스DP와 비교해 30% 가량 성능을 높였다. 가격은 이지스DP의 25억원보다 다소 비싼 대당 30억원 내외로 추정된다. 이 시장을 주도하고 있는 미국 KLA 장비의 3분의 1 수준이다.
넥스틴이 납품한 검사 장비는 웨이퍼 위의 결함을 찾아내는 역할을 한다. 시간대별로 사진을 찍어 달라진 부분이 있는지 패턴을 검사해 찾아낸다. 이때 빛을 쬐는 방식에 따라 브라이트 필드와 다크 필드로 나뉜다. 브라이트 필드는 수직으로 빛을 쏴 반사광으로 패턴 표면을 찍는다. 다크 필드는 비스듬하게 빛을 보내 산란광으로 패턴 표면을 찍는 방식이다.
이지스Ⅱ는 다크 필드와 브라이트 필드 모두 가능하다. 다크 필드 장비 시장은 KLA와 히타치가 주도하고 있다. 시장점유율은 KLA가 90%로 압도적이다.
넥스틴은 브라이트 필드 장비도 개발하고 있다. 2023년까지 개발 완료와 양산이 목표다. 브라이트 필드 장비는 다크 필드 장비보다 광원의 파장이 짧아 고난도 기술을 필요로 한다. 현재 이 시장은 KLA와 어플라이드머티어리얼즈가 주도하고 있다.
넥스틴은 올해 미국지사와 중국지사 설립을 완료했다. 이를 전진기지 삼아 해외 시장 창출에 나선다는 방침이다. 넥스틴은 올해 중국 반도체 기업 양쯔메모리테크놀로지(YMTC)와 푸젠진화(JHICC)에 이지스DP 공급을 성사시킨 바 있다.
업계 관계자는 "글로벌 패턴결함 검사장비 시장은 올해 34억달러에서 2023년 45억달러로 계속 성장이 전망된다"면서 "아직 검사 장비 분야에서 점유율이 낮지만, 효율성을 개선한 장비로 시장을 확대하고 있다"고 설멸했다. 이어 "미중 분쟁으로 미국 장비의 중국 수출이 막히면서 반사이익이 기대된다"고 덧붙였다.
