출처 : 아이지웨이 | 12월 17일
○나타 자제 개발 칩이 고객사 인증 통과
- 17일 중국 반도체 재료 업체 나타가 고객사로부터 자체 개발한 ArF 포토레지스트(PR) 인증을 받았다고 공시를 통해 밝혀
- 50나노미터 플래시메모리의 게이트웨이 공정으로 인증을 받아
- 중국에서 ArF PR로 상용 인증을 받은 첫 중국산 ArF PR
- "ArF PR 개발 및 산업화" 프로젝트는 닝보 나타가 인수한 중국 국가 "02 프로젝트"의 중점 프로젝트
- ArF PR는 집적회로 제조 분야의 핵심 재료로 90-14나노미터 및 7나노미터 공정에 적용 가능, AI 칩과 5G 칩 등과 같은 고급 칩 제조에 사용
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