○징루이구펀, 반도체용 고순도 황산 9만톤 프로젝트 1단계(3만톤) 준공
- 중국은 오랫동안 반도체용 고순도 황산을 바스프 등 외국 기업에서 대규모 수입해왔음. 생산량과 품질이 날로 높아지는 내수시장의 요구 수준에 미치지 못했기 때문.
- 2019년 중국의 반도체용 고순도 황산 수요량은 11만 7300만톤에 달했음. 중국 반도체 산업이 발전함에 따라 이 수요는 계속 늘어날 전망.
- 그런데 20일 쑤저우에 있는 화학기업 징루이구펀(晶瑞股份, Suzhou Crystal Clear Chemical)이 연산 9만톤 반도체용 고순도 황산 제조 초대형 프로젝트 1단계 준공식을 열었음.
- 곧 3만톤 규모 라인 생산을 시작할 예정.
- 우톈수(吴天舒) 징루이구펀 회장은 2단계, 3단계도 조속히 추진할 것이며 1단계보다 더 원활히 진행될 것이라고 밝혔음.
- 3단계까지 완공되면 중국 본토 최대 규모의 반도체용 고순도 황산 생산기지가 될 예정.
○5G 등급 반도체용 고순도 황산 대규모 생산 능력 구축···일본 파트너사들 도움 있었기에 가능
- 이렇게까지 빠른 속도로 사업을 진행할 수 있었던 건 수입해온 장비기술을 적용한 자회사 생산장비 업그레이드, 일본 파트너사들과의 협업이 있었기에 가능했음.
- 징루이구펀은 이를 통해 자체적인 고순도 황산 생산기술 지식재산권과 SEMI 최고 규격인 5G 등급 반도체용 고순도 황산 대규모 생산 능력을 갖추게 됐음.
- 25년 전 포토레지스트 프로젝트 때 일본 파트너사들과 맺은 협력과 우정 덕분에 오늘날 징루이구펀이 중국 최고 기업 반열에 오를 수 있었으며, 이번에도 미쓰비시 케미컬, 마루베니, 모리마쓰로부터 큰 도움을 받았다고 언급.
- 리칭(李勍) 전무는 “이번 프로젝트는 새로운 징루이구펀이 탄생했다고 할 만큼 중요한 전략적 의미를 지닌다”고 평가했음.
- 그간 수입에 전적으로 의존해온 반도체용 고순도 황산의 자체 생산 실현은 중국 반도체 산업의 원재료 부족 해결, 산업 생태계 안정성 확보 면에서 실로 중대한 의미임.
○화훙그레이스, YMTC, 허페이창신 등 기존 고객사에 납품할 듯
- 황산은 반도체, 초대형 집적회로의 조립 및 가공 과정에서 광범위하게 쓰이는 시제임.
- 특히 웨이퍼 세척과 에칭에 주로 쓰임.
- 반도체용 황산 제품은 순도 기준이 매우 높아 세계 최고 수준인 G5 등급 달성이 결코 쉽지 않음.
- 징루이구펀은 일찍이 과산화수소수, 암모니아수 제품도 G5 등급을 받아 대규모 양산을 실현했으며 화훙그레이스, 정방반도체, 우한신신, YMTC, 허페이창신 등 중국 대기업에 공급해왔음.
- 그간 구축해놓은 공급망과 이번에 양산하는 고순도 황산 제품이 상호 시너지 효과를 발휘할 것으로 보임.
