ST, 싱가포르에 '압전 MEMS' 지원 8인치 팹 설립 
ST, 싱가포르에 '압전 MEMS' 지원 8인치 팹 설립 
  • 이나리 기자
  • 승인 2020.11.02 18:56
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첫 웨이퍼 생산 2021년 2분기, 대량생산은 2022년 말 예상

ST마이크로일렉트로닉스가 기존 싱가포르 제조시설에 압전(Piezo) 멤스(MEMS) 공정용 8인치(200mm)  연구개발(R&D) 라인을 새롭게 설치한다고 2일 밝혔다. 싱가포르 과학기술청(A*STAR) 산하 마이크로일렉트로닉스 연구소(IME)와 일본의 장비 업체 알박과 협력한 신규 LiF(Lab-in-Fab) R&D 라인이다. 

이번 LiF는 ST의 싱가포르 앙모키오 캠퍼스 내에 새로운 클린룸 구역으로 구성된다. 기존의 ST 인력이 활용될 예정이다. 이번 협력을 통해 스마트 안경을 위한 MEMS 미러, 증강현실(AR) 헤드셋, 라이다(LiDAR) 시스템, 의료 애플리케이션용 PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer), 산업용 3D 프린팅용 압전 MEMS 액추에이터를 개발할 예정이다. 

LiF 시설에선 2021년 2분기에 첫 웨이퍼를 생산한다. 2022년 양산이 목표다. 
 


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