정측전자, 마이크로LED 검사장비 연구개발에 620억원 투자
정측전자, 마이크로LED 검사장비 연구개발에 620억원 투자
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  • 승인 2020.11.13 14:02
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출처 : 중화액정망 | 10월 13일

○정측전자 14억 9400만위안을 증자
- 12일, 정측전자가 14억 9400만위안을 증자하겠다고 발표
- 중국 상하이시에서 반도체 검사장비 연구개발·산업화 프로젝트에 12억위안을 투자, 마이크로LED 검사 장비 연구개발 및 산업화 프로젝트에 3억 6476만위안을 투자
- 상하이 반도체 검사장비 연구개발·산업화 프로젝트 건설 기간은 3년
- 상해는 기존에 있는 공장은, 인원 및 소프트/하드웨어 시설이 지속적으로 확대되는 주문 수요를 만족시킬 수 없게 되었으며 이번 증자로 공장 확대, 장비 추가 구매, 인재 도입
- 프로젝트 통해 생산한 집적식/독립식 막두께(膜厚)/OCD량측정 장비, 전자 빔량 측정 장비 등 주로 반도체 집적회로 전자동 버그 검사와 패널 버그 측정에 사용
- 마이크로LED 검사장비 연구개발 및 산업화 프로젝트 건설 기간은 2년, 공장은 우한시에 설립 예정
- 정측전자는 고성능 수입 대체 설비를 성공적으로 개발하였으며, 자체 개발한 집적식 막 두께 측정 설비는 2020년 1월에 중국 스토리지 분야 주요 고객사로부터의 주문을 받아
- 반도체 OCD 장비, 웨이퍼 산란 입자(散射颗粒) 정측 장비는 2021년 말까지 유명 웨이퍼 공장 검증 주문을 받아, 2023년 말까지 검증을 거쳐 재 주문을 받을 예정



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