SK실트론이 반도체 웨이퍼 생산 중 발생되는 지용성 폐슬러리(Slurry)를 95% 이상 재활용할 수 있는 친환경 기술을 개발했다고 25일 밝혔다. 한국기술교육대학교 산학협력단, 클린솔루션과 공동 개발한 기술이다.
슬러리는 반도체 미세 패턴 및 적층회로를 구성할 때 웨이퍼 표면에 불필요하게 형성된 박막을 평탄화 시키기 위한 연마제 역할을 한다. 주로 와이어소잉(Wire-Sawing) 공정에서 사용됐다. 지금껏 사용된 슬러리는 재활용이 불가해 전량 소각, 매립됨으로써 환경 문제가 지적됐었다.
이번 기술 개발로 폐슬러리를 폐슬러지(Sludge)와 폐오일로 분리하고, 폐슬러지를 고형분의 파우더와 증류 오일로 한번 더 분리해내 이들을 재활용할 수 있게 됐다.
해당 기술은 SK실트론, 한국기술교육대학교, 클린솔루션이 공동으로 특허를 신청했다. 한국기술교육대학교 산학협력단과 클린솔루션은 SK실트론로부터 제공받은 폐슬러리의 분석 정보와 분리 시스템 기술을 제작 검증하고 재활용함으로써 상품화에 성공한 것이다.
뿐만 아니라 SK실트론은 공정 중 발생한 폐슬러리의 상품화를 위해 협력업체인 클린솔루션, 케이에스티와 업무협약을 체결했다. 이번 협약을 통해 클린솔루션은 SK실트론으로부터 받은 폐슬러리를 고형분의 파우더와 폐오일, 증류 오일로 분리하고 이를 케이에스티에 제공하게 된다. 최종적으로 케이에스티는 이들을 재가공하여 상품화해 판매까지 진행할 계획이다.
SK실트론 관계자는 "폐자원 재활용 확대, 자원 소비 절감 등 친환경 경영 활동을 통해 구미·경북지역의 환경 보호를 위해 지속적으로 노력하겠다"고 말했다.
