머크, 한국에 첨단기술센터 개소..."차세대 반도체 소재 개발"
머크, 한국에 첨단기술센터 개소..."차세대 반도체 소재 개발"
  • 이기종 기자
  • 승인 2020.06.30 14:19
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"한국 내 CMP 소재 위한 공급기반 마련"
머크가 경기도 평택 송탄산업단지에 개소한 한국 첨단기술센터(K-ATeC)

머크가 경기도 평택 송탄산업단지에 한국 첨단기술센터(K-ATeC)를 개소했다고 30일 밝혔다. 

이번 기술센터는 CMP 슬러리 및 포스트-CMP 클리닝 연구개발을 가속해 반도체 생산 고객사를 지원한다. 센터는 모두 5층으로 면적은 3240m²다. 고객 평가용 샘플링랩, CMP 소재 설계·분석 리서치 랩, EBARA F-REX300X 300mm CMP 웨이퍼 연마 시스템 및 SP5 웨이퍼 결함 검사장비 등을 갖춘 클린룸으로 구성된다.

머크는 한국 첨단기술센터 투자로 CMP 신소재 테스팅 및 반도체 산업 소재 공급을 가속한다. 평택 사업장에는 첨단기술센터 외에 차세대 CMP 소재용 '베스트 인 클래스(특정 약종에서 최고 효능을 보유)' 제조센터가 있다. 평택 사업장은 한국 고객 기반과 근접해 지역 내 협업·지원이 가능하다.

머크 기능성소재 사업부는 이달 1일 반도체 솔루션을 고객 중심의 새 조직으로 발족했다. 머크는 버슘 머티리얼즈와 인터몰레큘러 인수를 마쳐 여러 웨이퍼 공정 단계 등 폭넓은 포트폴리오를 제공할 수 있다. 

머크는 "소재 외에도 배송 도구, 설비, 컨테이너 및 서비스 분야까지 전문성을 확보했다"며 "기능성소재 사업부는 인터몰레큘러 기술로 소재 혁신 가속화를 추구한다"고 밝혔다. 이어 "고도화된 데이터 분석 및 실험 플랫폼은 연구자에게 고품질 종합지원을 제공하고 고객이 기기 테스트 후 소재 관련 결정을 내리도록 돕는다"고 설명했다.

아난드 남비아 머크 기능성소재 사업부 산하 반도체소재 사업 글로벌 대표·수석부사장은 "기술센터 완공·역량 확장에 350억원 이상을 투자했다"며 "공급망을 확장하고 발전된 기술을 개발하며 고객사와 상생하겠다"고 말했다. 글렌 영 한국 머크 대표는 "머크는 전자 산업 기술 발전을 위한 기초연구 육성에 깊은 관심을 가지고 있다"고 밝혔다.

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