[세미콘코리아 2019 전시참가 기업]
케이에스엠(KSM)그룹이 세미콘 코리아 2019에 참가해 혁신 반도체 장비 부분품 및 부품을 전시했다. 계열사 중 케이에스엠은 메탈 벨로우즈(Metal Bellows), 케이에스엠컴포넌트는 히터 부품, 한국씰마스타는 미케니컬 실(Mechanical Seal)을 선보였다.
KSM그룹 주력 매출원인 메탈 벨로우즈는 두께 0.05mm의 얇은 박판을 성형, 용접해 신축성 있는 주름관 형태로 가공한 구조물을 의미한다. 반도체 장비 내외부를 밀봉(Sealing), 진공 상태를 유지할 때 이 구조물이 사용된다. 장비 내에서도 반도체 웨이퍼가 이곳저곳으로 움직여 가공되기 때문에 대기 상태와 진공 상태를 구분 짓는 메탈 벨로우즈가 필요하다. 메탈 벨로우즈는 상하좌우 운동, 압축, 인장(늘어지는 형태)이 가능하고 고온, 고압, 부식성 환경에서 100만 사이클 이상 장기간 사용할 수 있어야 한다. 케이에스엠 메탈 벨로우즈는 세계적인 반도체 장비 회사들이 앞다퉈 사가는 부분품이다. 한국 장비 부품 기업으로는 드물게 미국 법인과 공장까지 있다.
차정일 케이에스엠 전무는 “메탈 벨로우즈 시장에서 케이에스엠은 세계 1위 점유율을 지키고 있는 기업”이라면서 “독자 제작한 자동화 용접 로봇 기술로 세계 그 어떤 메탈 벨로우즈 회사보다 고품질, 고내구성 제품을 만들 수 있다”고 강조했다.
히터는 KSM그룹의 신성장동력이다. 이 제품은 반도체 제조 장비 가운데 화학기상증착(CVD)과 식각(Etch) 공정 장비의 핵심 부품으로 활용된다. 히터는 실리콘 웨이퍼와 직접 맞닿으면서 웨이퍼 전 영역을 균일하게, 최소 온도편차를 유지하며 가열할 수 있어야 한다. 케이에스엠컴포넌트는 자동화 시스템으로 금속을 결합(brazing)하거나 용접한다. 용접의 경우 E빔을 활용하기 때문에 열 변형이 적다. 생산성이 높은 것은 가장 큰 경쟁력이다. 개발 기간이 2주로 짧아 고객사 요구에 빠르게 대응할 수 있다.
한국실마스타는 밀봉 제품인 칼레즈 오링(Kalrez O-ring)을 선보였다. 칼레즈는 불소 함량이 높은 과불소 소재로 제작돼 화학, 열 저항성이 기존 소재보다 월등히 높다. 반도체, 디스플레이 진공 장비에 적용된다.
