금강쿼츠, 상반기 공장 증설로 매출 900억원 목표
금강쿼츠, 상반기 공장 증설로 매출 900억원 목표
  • 이수환 기자
  • 승인 2019.01.21 16:52
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쿼츠 제품 생산량 20~30% 확대
2020년 매출 목표 1000억원
경기도 화성시 동탄 금강쿼츠 본사
경기도 화성시 동탄 금강쿼츠 본사

석영유리(쿼츠, Quartz) 부품(Ware) 전문업체 금강쿼츠가 50억원을 들여 상반기 화성시 동탄 본사 공장 증설투자를 진행한다. 작업이 마무리되면 쿼츠 부품 생산량이 20~30% 늘어난다. 쿼츠 링(Ring) 생산량은 두 배 확대된다. 올해 실적도 지난해 760억원을 훌쩍 넘어선 900억원으로 높였다. 내년은 매출 1000억원이 목표다.

1997년 설립된 금강쿼츠는 반도체를 만들 때 식각(에칭)과 디퓨전 공정에서 웨이퍼를 불순물로부터 보호하거나 이송하는 용기를 만든다. 쿼츠 이송 용기와 링을 모두 만든다. 두 가지 제품이 매출에서 차지하는 비중은 70% 정도다. 삼성전자, SK하이닉스에 모두 제품을 공급한다.

쿼츠는 말 그대로 유리의 일종이다. 대부분이 규산(SiO2)으로 이루어져 있고 빛을 잘 통과시키면서 열에 강하다. 온갖 케미컬과 가스에 노출되더라도 버텨야 한다. 쿼츠를 만드는 방법은 크게 두 가지다. 하나는 용융(가열해 녹임), 다른 하나는 합성이다. 그동안 국내 업체는 용융쿼츠만 사용했는데, 재료를 녹이고 모양을 만드는 과정에서 성능이 만족스럽게 나오지 않을 수 있다.

금강쿼츠 관계자는 “용융쿼츠는 재료 자체의 한계가 있다. 그러나 합성쿼츠는 원재료를 가수분해(물을 이용한 분해 화학반응)하고 이산화규소(SiO2)를 들어 한계를 극복했다”라며 “국내에 합성쿼츠는 있었으나, 이를 식각 공정에 적용한 것은 금강쿼츠가 처음”이라고 설명했다.

반도체 미세공정 난도가 빠르게 높아지면서 쿼츠 부품에 대한 요구사항이 까다로워졌다. 예컨대 식각 공정에 들어가는 쿼츠 링은 플라즈마에 표면이 벗겨지면서 짧으면 250시간만에 교체해야 한다. 이 과정에서 미세 파티클이 떨어져 나가 수율에 영향을 끼칠 수 있다. 쿼츠 링에 금이 가는 일도 있다.

쿼츠 링 부품
쿼츠 링 부품

금강쿼츠 관계자는 “CNC 공작기계와 다이아몬드 공구를 이용해 쿼츠를 원하는 모양으로 만들 때 물리적인 충격을 받아 금이 갈 수 있다”라며 “금강쿼츠의 경우 가공 단계에서부터 충격을 적게 주는 기술로 미세 파티클 발생을 차단했다”라고 말했다.

화학증착(CVD) 실리콘카바이드(SiC) 소재 가공품도 금강쿼츠의 매출원이다. CVD SiC는 쿼츠 부품과 달리 저항을 가지고 있다. 1옴(Ω) 이하를 저저항, 50Ω 이하는 중저항, 100Ω 이하의 경우 고저항이라 부른다. 반도체 장비에 알맞은 저항값에 따라 제품을 공급할 수 있는 능력을 갖췄다.

최근 반도체 투자축소에 대한 우려가 깊어지고 있다. 그러나 쿼츠 부품은 공정 난도가 높아지면서 소비량이 많아지는 추세다. 지난해 투자된 반도체 장비가 올해 가동된 영향도 있다. 금강쿼츠 관계자는 “올해 쿼츠 부품 시장은 품질과 납기, 원가절감이 핵심이며 각 업체 경쟁도 치열해 질 것”이라고 덧붙였다.

쿼츠 이송 부품
쿼츠 이송 부품

 


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