[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
인쇄전자장비업체 노바센트릭스가 레이저를 대체할 ‘포토닉 큐어링(Photonic Curing)’ 기술을 세미콘 코리아 2019를 통해 선보인다.
포토닉 큐어링은 종이, 플라스틱처럼 열에 약하고 휘어지는 기판 위에 있는 재료를 어닐링(annealing, 열처리) 할 때 사용한다. 수 밀리초(millisecond, 1000분의 1초) 단위로 빛을 쏘기 때문에 기판을 훼손하지 않는다. 기존 레이저 장비와 달리 열이 적게 발생하고 속도가 빠르다는 게 회사 측의 설명이다.
알렉스 로즈 노바센트릭스 아시아 지사장은 “레이저는 가격이 비싸고 많은 에너지가 필요하며 균일성 문제가 있을 수 있다”라며 “디스플레이는 레이저리프트오프(LLO), 반도체는 솔더링에서 활용할 수 있다”라고 말했다. LLO는 플렉시블 유기발광다이오드(OLED) 제작 시 기판으로 사용하는 폴리이미드(PI) 필름을 수송용 유리(캐리어 글라스)에서 떼어낼 때 사용한다. PI 필름 손상이 없어야 한다.
솔더링의 경우 기판 위에 도포된 솔더(Soder)를 통해 다이와 기판을 접합하는 기술이다. 포토닉 큐어링 기술을 이용하면 온도에 민감한 납을 순간적으로 가열해 기판이나 반도체에 무리를 주지 않고 붙일 수 있다.
로즈 지사장은 “한국에는 수십 대의 펄스포지(PulseForge) 장비가 고객사 디스플레이 양산라인에 적용되어 있다”라며 “레이저를 대체해 적용되고 대면적이 가능해서 반도체 분야에서도 문의가 많다”라고 강조했다.
또한, 그는 “포토닉 큐어링은 기존 어닐링으로는 어려웠던 조합이 가능하고 마이크로 발광다이오드(LED) 위에 곧바로 솔더링을 하는 작업도 진행할 수 있다”라고 덧붙였다.
