나노메트릭스 “박막 계측장비 점유율 20% 달성 목표”
나노메트릭스 “박막 계측장비 점유율 20% 달성 목표”
  • 이수환 기자
  • 승인 2019.01.17 00:30
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128단 3D 낸드플래시도 대응
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
나노메트릭스 아틀라스Ⅲ OCD 계측장비.
나노메트릭스 아틀라스Ⅲ OCD 계측장비.

반도체 검사·계측 장비 전문업체 나노메트릭스가 올해 매출 1100억원대를 목표로 내걸었다. 2018년 이 회사 매출은 890억원대였다. 박막(막질 특성) 계측장비 시장점유율도 20% 달성에 도전한다. 반도체 미세공정 난도가 높아지면서 보다 자세하게 내부를 구조를 들여다볼 일이 많아져서다.

나노메트릭스는 광학임계선폭(OCD:Optical Critical Dimension) 계측장비 전문이다. 빛을 이용해 반도체 구조를 살펴볼 수 있는 기술이다. 이를 위해서는 단순히 광학장비로는 해결이 안 된다. 데이터를 빠르고 정확하게 분석할 수 있는 알고리즘을 갖춰야 한다. 소프트웨어가 관건이다.

최근 D램과 낸드플래시는 다양한 재료를 활용이 필수다. 재료 층이 두꺼워지면서 박막 구조도 그만큼 복잡해졌다. 장준원 나노메트릭스코리아 이사는 “반사된 빛을 어떻게 해석하느냐가 성능에 큰 영향을 끼친다”라며 “박막 계측장비는 시간당 200장, 구조해석을 위한 OCD 계측장비의 경우 시간당 140~150장의 웨이퍼를 처리할 수 있다”라고 설명했다.

나노메트릭스는 국내 OCD 계측장비 시장에서 70%를 점유하고 있는 강자다. 박막 계측장비 시장은 KLA-텐코가 1위다. 국내 시장규모는 두 장비를 합쳐 연간 1700~1900억원대로 추정된다. 식각을 비롯해 각종 화학증착(CVD) 공정이 추가되면서 시장규모가 점진적으로 확대되는 추세다. 최근에는 빛의 파장을 더 길게 늘린 장파장(IR) 기술이 개발되고 있다. 현재 기술로는 128단 3D 낸드플래시까지는 막질 특성과 구조 파악이 가능한 상태다.

나노메트릭스는 세미콘코리아 2019 전시회에 참여해 아틀라스Ⅲ, 임펄스 계측장비를 내세운다. 고유의 구조해석 알고리즘과 하드웨어 신뢰성을 바탕으로 고객 경쟁력을 높일 수 있다는 점을 증명할 계획이다.


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