버슘머트리얼즈코리아, 하반기 CMP 연구개발센터 완공
버슘머트리얼즈코리아, 하반기 CMP 연구개발센터 완공
  • 이수환 기자
  • 승인 2019.01.15 17:25
  • 댓글 0
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지연시간 없는 재료공급 장치 첫선
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
가스 키퍼 블렌더.
가스 키퍼 블렌더.

버슘머트리얼즈코리아가 평택 사업장에 하반기 화학기계연마(CMP) 슬러리 연구개발(R&D)센터를 완공한다. 지난해 경기도 안산시 반월공장 첨단증착재료 R&D센터에 이어 두 번째다. 총 투자액은 300억원 이상이다.

반월 R&D센터는 신규 증착재료를 연구하고 있다. 여기에 CMP R&D센터가 완공되면 아시아 전 지역에 공급될 핵심 반도체 재료 개발을 한국에서 담당하게 된다. 한국시장 공략을 위해 현지화를 꾸준하게 강조한 만큼 관련 인력 충원도 지속해서 이어질 전망이다.

버슘머트리얼즈 본사는 2017년에 이어 2018년에도 두 자릿수 성장세를 이어갔다. 매출이 22% 확대된 13억7230만달러(약 1조5300억원)을 기록했다. 전체 매출에서 한국이 차지하는 비중은 28%로 미국(23%), 대만(18%), 중국(12%)을 압도했다. 한국에 잇따라 R&D센터를 짓는 이유다.

버슘머트리얼즈는 세미콘코리아 2019에 전시회를 통해 각종 가스와 전구체를 안전하고 정확하면서 원하는 비율로 장비에 공급할 수 있는 제품군 3가지(ION-X, GasKeeper, ChemKeeperⅡ)를 선보인다.

각 제품은 장비 가동에 따른 손실을 줄이면서 초고순도(UHP:Ultra High Purity) 재료를 공급할 수 있도록 설계됐다. 실린더는 충전량을 늘렸고 독성 가스를 선택적으로 흡착해 저장하고 운반할 수 있다. 탄소 기반 흡착 기술보다 성능과 경제성이 더 뛰어나다는 설명이다. 케미컬 자동공급장치는 반도체 공정에 사용되는 다양한 재료에 요구되는 사양을 만족시켰다.

한편, 버슘머트리얼즈는 2016년 10월 특수가스 전문업체 에어프로덕츠에서 분리 독립된 회사다. 재료와 재료 공급장치가 주력 매출원이다.


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