[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
첨단 반도체 공정에서 초미세입자(파티클) 오염 측정 중요성이 커졌다. 화학재료와 공기, 가스, 물 등에 포함된 매우 작은 양의 오염물질조차도 제품 품질과 수율에 큰 영향을 미치기 때문이다.
오염제어 기술업체 PMS의 주력품은 파티클 검출 장비다. 화학재료·초순수(UPW: Ultra Pure Water) 안에 들어있는 20나노 크기 파티클을 측정하는 켐-20(CHEM-20)과 UDI-20, 공기 중 10나노 크기 파티클을 측정하는 NPC 10 등이 대표적이다.
2016년 선보인 켐-20은 화학재료와 초순수에서 20나노 크기 파티클을 검출하는 장비다. 화학재료에서 20나노 크기 파티클을 측정하는 장비를 상용화한 것은 PMS가 세계 처음이다. 기존 제품은 30나노 크기 파티클 검출에 그쳤다. 식각, 세정 등 습식(Wet) 공정에서 사용하는 벌크 화학재료인 황산, 염산, 과산화수소, 암모니아수, 물, 불산, 이소프로필알코올(IPA) 등에서 오염물질을 찾는다. 황산·염산 등 굴절율이 큰 화학재료는 켐-20 하이(Hi), 나머지 재료는 켐-20 로(Low)를 활용한다.
UDI-20는 초순수에 특화한 장비다. 기존 장비로는 초순수에서 보지 못했던 파티클을 확인할 수 있다. 공기 중에서 10나노 크기 파티클을 측정하는 NPC 10에도 PMS는 기대를 걸고 있다.
PMS는 앞으로 더 작고, 다양한 오염을 측정, 관리하는 제품과 서비스 개발에 나설 계획이다. PMS 미국 본사는 1972년, PMS코리아는 2014년 설립했다. 세계 70여개국에서 네트워크를 구축했다.
