SK하이닉스의 세정장비 협력사 무진전자와 기술 협약을 맺은 중국 장비 업체가 본격적인 출하를 시작한다. 한국 회사가 기술을 전수해줬다는 점에서 향후 논란이 일어날 가능성도 있다.
중국 장비업체 쯔춘커지(PNC)는 반도체 세정장비 6대를 늦어도 내년초까지 모두 출하할 계획인 것이라고 중국 경제 매체 동팡차이푸왕(东方财富网)이 전했다. 이 같은 계획은 지난 달 1일 투자기관 탐방 설명회 내용을 PNC가 9일 발표하면서 공개됐다. PNC는 "세정장비 출하는 몇 년간 노력의 결실"이라면서 "점진적으로 국산화를 실현해갈 것"이라고 했다.
순도제어 장비가 주력 사업이던 PNC는 2017년 반도체 습식사업부를 만들었다. 지난해 PNC는 우리돈 약 600억원(3억6900만위안) 정도의 매출을 기록했다.
PNC가 이번에 출하하는 제품은 습식 벤치(bench) 세정장비다. 출하 대상은 중국 파운드리업체 SMIC, 미국 전력반도체 업체 알파오메가반도체(AOS)다. AOS로 출하되는 장비의 도착지는 AOS 충칭(重庆) 공장으로 추정된다. 300mm 웨이퍼 전력반도체 생산설비를 갖춘 AOS 충칭공장은 올해 3분기 가동을 시작했다.
PNC는 벤치 세정장비와 싱글 세정장비 둘다 생산한다. PNC는 올해 안에 싱글 세정장비도 수주도 이뤄질 것으로 기대하고 있다. 벤치식 장비는 웨이퍼 여러 장을 소 여물통 같은 기다란 벤치에 한꺼번에 넣고 세정하는 방식이다. 싱글식 장비는 챔버(chamber) 하나에 웨이퍼 하나씩 세정한다. 싱글식 장비에는 많게는 10여개의 챔버가 달린다.
PNC의 벤치 세정장비는 지금까지 일본에서 만들어 들여왔다. 싱글 세정장비는 국내 장비 업체 무진전자와 합작해 제작하고 있다. 무진전자의 지식재산권(IP)을 공유하기로 했다. 무진전자는 SK하이닉스의 세정장비 협력사다.
