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SKC, 반도체 블랭크 마스크 시제품 생산
SKC, 반도체 블랭크 마스크 시제품 생산
  • 이기종 기자
  • 승인 2020.03.26 14:43
  • 댓글 0
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이르면 올해 상업화 목표
SKC 구성원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다
SKC 구성원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다.

SKC가 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크 하이엔드급 제품 국산화에 나섰다. 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 사용하는 소재다. 하이엔드급 블랭크 마스크는 수입에 의존해왔다.

26일 SKC는 충남 천안 하이엔드급 블랭크 마스크 공장에서 고객사 인증용 시제품 생산을 본격화했다고 밝혔다. 430억원을 투자한 이 공장은 지난해 12월 완공하고 양산 준비를 해왔다. 고객사 인증을 거쳐 올해 상업화가 목표다.

공장은 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장 내 여유 부지에 있다. SKC는 이곳을 반도체 소재 클러스터로 조성한다. 천안 클러스터를 중심으로 50% 수준인 반도체 소재 국산화율을 높이는 데 기여할 계획이다.

블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 포토 마스크 원재료다. 쿼츠 위에 금속막과 감광막을 도포해 만든다. 여기에 회로 패턴을 형상화하면 포토 마스크가 된다. 필름으로 치면 촬영 전 필름이 블랭크 마스크, 촬영 후 필름이 포토 마스크다. 포토마스크를 반도체 웨이퍼 위에 놓고 빛을 쏘면 빛이 통과한 부분에 화학반응이 일어나 회로가 된다.

블랭크 마스크 시장 규모는 매년 커지고 있다. 반도체 제조사가 적극 증설에 나서면서 수요가 늘고 있다. 공정 미세화로 공정별 사용량도 증가했다. 회사 자체 조사에 따르면 세계 블랭크 마스크 시장 규모는 지난 2018년 8000억원에서 2025년 1조3000억원으로 성장할 전망이다.

이중 약 95%를 일본 업체 2곳이 차지하고 있다. 하이엔드급 시장은 99% 이상 장악한 것으로 알려졌다. 한국도 반도체 제조에 필요한 하이엔드급 블랭크 마스크 대부분을 수입하고 있다.

SKC는 기술 노하우를 바탕으로 사업에 진출했다고 밝혔다. 블랭크 마스크는 금속막과 감광막을 나노미터 단위 얇은 두께로 쿼츠에 도포해야 한다. 하이엔드급은 더 얇고 여러 번 균일하게 도포해야 한다. SKC는 여기에 필요한 진공증착(스퍼터링:sputtering) 기술과 경험, 초청정 무진 관리 경험이 있다고 설명했다.

SKC 관계자는 "1단계 사업 모델 혁신을 마치고 반도체, 모빌리티, 친환경, 디스플레이 사업 중심 2단계 혁신을 추진하고 있다"며 "천안 반도체 소재 클러스터를 중심으로 반도체 사업을 고도화하고 국산화율을 높이겠다"고 말했다.

충남 천안 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장에 건설한 SKC 블랭크 마스크 공장 모습. SKC는 이곳을 반도체 소재 클러스터로 조성...
충남 천안 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장에 건설한 SKC 블랭크 마스크 공장 모습. SKC는 이곳을 반도체 소재 클러스터로 조성할 계획이다.

 



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