[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
국제엘렉트릭코리아가 연매출 5000억원 달성(스펙 업 5K)을 목표로 내걸었다. 2017년 이 회사 매출은 4403억원, 영업이익은 479억원으로 사상 최대 실적을 달성한 바 있다.
회사 관계자는 “일본 모회사 코쿠사이 엘렉트릭(KOKUSAI ELECTRIC)과 함께 고객 요구에 보다 적극적으로 대응해 글로벌 기업으로서의 입지를 보다 확고히 할 계획”이라고 강조했다.
국제엘렉트릭코리아는 일본 코쿠사이 엘렉트릭이 최대주주로 있는 반도체 장비 회사다. 충청남도 천안에 본사가 있다. 고객사 대응을 위해 평택, 동탄, 이천, 청주에 사무소를 운용 중이다.
이 회사 주요 장비는 퍼니스(Furnace) 타입 증착 시스템이다. 퍼니스 타입은 한 번에 수십 장의 웨이퍼를 가공할 수 있는 구조적 특징을 가지며 고온 환경에서 증착 작업을 진행해 박막의 질이 높다.
국제엘렉트릭코리아는 웨이퍼 한 장씩 정밀하게 가공이 가능한 매엽 장비부터 수십 장을 한 번에 가공할 수 있는 대대 배치 장비까지 확보하고 있다.
국제엘렉트릭코리아 주력 제품 중 하나인 어드밴스드에이스-300(AdvancedAceⓇ-300)은 종형 타입의 배치 방식 열 처리 프로세스(Batch Thermal Process) 장비다. 국제엘렉트릭코리아의 핵심 기술인 온도제어기술, 자동반송기술, 진공 및 가스치환기술, 냉각기술, 증착 기술을 결집했다. 작업 속도를 비약적으로 높여 높은 생산성을 실현했다는 것이 국제엘렉트릭코리아의 설명이다.
쯔루기-C2(TSURUGI-C2)는 차세대 디바이스, 특히 3차원 입체구조 반도체에 특화된 장비로 새로운 반응로를 채용해 증착 처리 기술을 향상시켰다. 이 장비 역시 종형 타입 열 처리 프로세스 장비로 분류된다.
마로라(MARORA)는 우수한 스탭 커버리지 특성을 갖춘 매엽 장비다. 스탭 커버리지 특성이 좋다는 것은 높은 종횡비(High Aspect Ratio)를 갖는 단차에서도 균일하게 막이 형성됨을 의미한다. 복잡한 형상의 3차원 입체구조 반도체 생산시 질화, 산화막 형성에 쓰인다.
국제엘렉트릭코리아 관계자는 “온도제어, 자동반송, 진공과 가스치환, 냉각, 증착, 비약적인 사이클 시간 단축기술이 적용돼 고품질 증착 및 고생산성을 실현한 종형 배치 타입 장비를 지속 제공해 고객사 생산성 향상에 기여할 것”이라고 말했다.
