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LGD 산학협력 지원 논문, 네이처 커뮤니케이션즈에 게재
LGD 산학협력 지원 논문, 네이처 커뮤니케이션즈에 게재
  • 이종준 기자
  • 승인 2020.02.13 22:48
  • 댓글 0
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연세대 심우영 교수 연구팀 '소프트마스크를 이용한 초근접 노광 기술'
연세대 심우영 교수
연세대 심우영 교수

'기존 노광장비를 활용하면서도 더욱 미세한 회로 패턴 구현이 가능한 포토리소그래피 기술' 관련 연세대 심우영 교수팀의 논문이 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈(Nature Communications) 최신호에 게재됐다고 LG디스플레이가 12일 밝혔다. LG디스플레이는 심 교수 연구팀에 산학협력 인큐베이션 과제 지원을 했다.

심 교수 연구팀은 '소프트마스크를 이용한 초근접 노광 기술'을 개발했다. 투명하고 유연한 마스크로 기판과 마스크 사이의 거리를 줄여, 빛 회절을 최소화했다. 디스플레이용 노광장비에 사용되는 일반 광원(g-line(436nm), i-line(365nm))으로 수십 나노미터 수준의 패턴을 쉽게 구현할 수 있다고 한다. 또한 노광초점 조절이 가능해 곡면기판 소자 공정에도 적용할 수 있다고 한다.

LG디스플레이는 2015년부터 'LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 운영해왔다. 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술과 제품에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 기획하고 연구검증하는 프로그램이다.

논문 공동 저자인 장기석 LG디스플레이 박사는 "이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(Seeds, 종자) 기술"이라고 평했다.


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