[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
원익테라세미콘을 합병하는 원익IPS가 반도체 디스플레이 분야 ‘토탈 솔루션’을 제공하는 대형 장비 회사로 거듭난다. 적극적인 연구개발(R&D) 장비군 다양화, 고객사 다각화를 통해 글로벌 톱10 장비 회사로 도약하겠다는 목표를 내걸었다.
원익IPS와 원익테라세미콘은 작년 12월 임시주주총회에서 합병 승인 안건을 원안대로 통과시켰다. 원익IPS는 반도체 장비 사업에서, 원익테라세미콘은 디스플레이 열처리 장비 사업에서 강점을 갖고 있다.
회사 관계자는 “빠르게 변화하는 최첨단 공정 기술에 발맞춰 시장성 있는 제품을 빠르게 개발하고 적기 출시하는 것이 장비 업계의 가장 중요한 경쟁요소”라면서 “이번 합병으로 연구개발(R&D) 인프라와 각종 역량이 크게 향상될 것으로 기대하며 해외 경쟁사 대비 취약했던 R&D 투자 규모도 개선 될 것”이라고 설명했다.
업계에선 양사 합병 후 연매출 1조원을 웃도는 대형 국내 장비 회사가 탄생할 것이라는 분석을 내놓고 있다.
원익IPS, 반도체 장비 분야서 강점
원익IPS의 주력 장비는 제니미(GEMINI) 플라즈마화학기상증착(PECVD) 시스템이다. 제미니 PECVD는 반사막 (Anti-Refective Coating) 및 하드마스크 (Hardmask)와 같은 유전막 필름을 형성하는데 사용된다. 원자층증착(ALD) 장비와 비슷한 수준의 우수한 박막 균일성이 강점이라고 회사 관계자는 설명했다. 이 장비는 20나노 이하 D램 공정 및 로직 디바이스 생산을 위한 더블패터닝(DPT), 쿼드패터닝(QPT) 하드마스크 패터닝 공정에 널리 사용되고 있다.
회사 관계자는 “제미니 PECVD의 유전체(Dielectric) 필름은 세계 최고 수준의 균일성을 자랑한다”면서 “생산성이 높고 고장률이 낮아 투자 및 관리 비용도 크게 절감할 수 있다”고 설명했다.
원익IPS에 흡수합병되는 원익테라세미콘도 반도체 장비를 보유하고 있다. 주력 품목은 여러 장의 웨이퍼를 동시 가공할 수 있는 수직 구조 배치 타입 퍼니스(Furnace)다. 확산(Diffusion) 공정부터 저압 LPCVD(Low Pressure Vapor Deposition)와 원자층증착(ALD:Atomic Layer Deposition) 공정까지 대응 가능하다.
최근에는 생산성 향상을 위해 처리능력을 향상시킨 고속 처리 장비가 고객사 양산라인에서 가동되고 있다. 우수한 온도 제어 및 독창적인 챔버 디자인으로 높은 단차(High Aspect Ratio) 구조에서도 정밀한 박막 균일성 요구를 만족시킨다.
디스플레이 시장 강자로 도약 중
원익IPS는 디스플레이 분야에서도 점차 두각을 나타내고 있다. 현재 국내외 액정표시장치(LCD), 유기발광다이오드(OLED) 제조업체에 핵심 장비를 공급 중이다.
원익IPS는 2007년 LCD 박막트랜지스터(TFT) 핵심 공정 중 하나인 건식 식각(Dry Etching) 장비 양산화를 시작으로 2012년 OLED 건식 식각 시장에 진입, 점유율을 확대하고 있다. 최근에는 중국 시장을 노크 중이다.
드라이 에처 뿐 아니라 OLED 생산 시 핵심인 봉지(Encapsulation) 공정용 플라즈마화학기상증착(PECVD) 장비도 개발 중이다. 이 장비는 대형 고객사의 OLED 박막필름봉지(TFE:Thin Film Encapsulation) 공정에 최적화 돼 있다.
원익테라세미콘의 주력 디스플레이 장비는 크리스털(Cryster) 시리즈다. OLED 디스플레이 제조 공정 중 열처리에 특화돼 있다. 저온에서 고온까지 폭넓은 온도 대역을 구현한다. 원익테라세미콘의 독자 기술인 빠른 램프업/램프다운 기능을 적용해 생산성이 높다.
이외에도 경화(Curing) 공정시 발생하는 부산물이 완벽하게 배출될 수 있도록 돕는 다이내믹 플로우 컨트롤 시스템 장비, 미세한 온도 변화에도 큰 영향을 받는 산화물 열처리에 특화된 장비도 보유 하고 있다.
