중국, 300mm 실리콘 웨이퍼 첫 양산 개봉박두
중국, 300mm 실리콘 웨이퍼 첫 양산 개봉박두
  • 이종준 기자 | semiphil@thelec.kr
  • 승인 2018.10.10 17:08
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日페로텍, 항저우 공장서 내년 상반기 양산 시작

중국에서도 300mm 실리콘 웨이퍼가 생산된다. 실리콘 웨이퍼는 반도체의 핵심 원재료다. 최근 공급 부족으로 값이 계속 올라가고 있다. 중국이 직접 300mm 웨이퍼 생산에 나서면서 공급부족 상황이 해소될 지 관심이 모인다.

항저우(杭州)일보에 따르면 지난 8일 항저우 중신(中芯) 웨이퍼 공장의 '골격 완성 기념식'이 열렸다. 이날 기념식에 허신엔한(贺贤汉) 페로텍(ferrotec) 부회장이 참석해 건물에 사용할 마지막 콘크리트를 삽으로 비볐다고 전했다. 중국 건축에서는 통상적으로 건물 골격을 완성하고 펑딩(封顶)식을 연다. 펑딩이후 건물 내·외관 공사, 전기배선 등이 진행된다. 펑딩은 지붕을 닫는다는 의미다. 내년 4월 생산예정이다.

허 부회장은 지난해 12월 중국전자보와 인터뷰에서 "중국내 300mm(12인치) 웨이퍼 생산능력은 공백상태"라면서 "중신 공장은 300mm 웨이퍼 20만장, 200mm(8인치) 30만장의 월 생산능력을 갖추게 될 것"이라고 말했다. 항저우일보에 따르면 중신 웨이퍼 공장에는 300mm 웨이퍼 생산라인 2개, 200mm 3개가 깔린다.

허 부회장은 일본 페로텍의 중국사업을 총괄하고 있다. 중신 공장 생산법인인 항저우중신정원반도체유한공사의 대표이기도 하다. 중국 기업신용정보에 따르면 항저우중신정원반도체유한공사의 자본금은 29억위안(약 4700억원)으로, 일본 페로텍, 페로텍의 중국 자회사 2곳 등 3곳이 자본금을 댔다. 중신 공장 총 투자금액은 60억위안(9800억원)이다.

페로텍의 8인치 이상 웨이퍼 생산기술은 세계 3위 웨이퍼업체 글로벌웨이퍼즈가 지원한다. 두 업체는 2016년 1월 양해각서(MOU)를 체결하고 같은해 5월 합자 판매법인을 중국에 세웠다. 페로텍은 글로벌웨이퍼즈와 함께 생산공정과 설비를 구축한 상하이 공장에서 200mm 웨이퍼를 생산 중이다. 상하이 공장의 200mm 웨이퍼 월 생산능력은 15만장이다.

페로텍은 지난해 7월 닝샤자치구 인촨(银川)시에 200mm 웨이퍼 잉곳 공장을 준공했다. 인촨 공장에서 뽑은 200mm 잉곳을 상하이 공장에서 가공하는 것으로 알려졌다. 올해 3월 인촨 공장은 300mm 웨이퍼 월 생산능력 20만장 설비가 포함된 2기 투자를 발표했다. 중신 공장 역시 인촨에서 잉곳을 받아올 것으로 보인다. 인촨시와 상하이시, 항저우시의 지도상 직선거리는 약 1600km다.



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