검사장비 전문 넥스틴, 올 하반기 기술상장 목표
검사장비 전문 넥스틴, 올 하반기 기술상장 목표
  • 한주엽 기자
  • 승인 2019.01.02 15:17
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2D 패턴 결함 검사 신장비 이지스2도 연내 상용화
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
넥스틴 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 이지스.

반도체 전공정 검사·계측 장비 전문업체 넥스틴이 올 하반기 기술상장에 도전한다.

박태훈 넥스틴 대표는 “지난해 코스닥협회에 기술상장을 위한 지정감사를 신청했다”면서 “연내 상장을 완료하는 것이 목표”라고 말했다. 박 대표는 “상장 과정에서 모인 자금으로 신장비 연구개발(R&D)에 역량을 집중할 것”이라고 말했다.

넥스틴은 2010년 설립된 반도체 전공정 검사 장비 업체다. 2014년 국내 최초로 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비인 이지스(AEGIS)를 개발 완료했다. 주요 반도체 대형 고객사에 공급을 성사시켰다.

웨이퍼의 미세 결함을 파악하는 것은 핵심 작업과제 중 하나로 꼽힌다. 회로선폭이 점점 좁혀지면서 미세한 웨이퍼 패턴 불량 검사 수요가 많아지고 있다.

넥스틴의 대표 제품인 이지스는 자외선(UV)과 UV보다 더 짧은 파장의 ‘딥 UV’를 활용해 웨이퍼 표면을 촬영한 뒤 완성 웨이퍼와 비교해 결함을 찾아내는 장비다. 정상 이미지와 작업 중인 웨이퍼 패턴 이미지를 비교하는 방식으로 결함을 검출한다. 통계 자료도 제공해 양산 수율을 높이는데 기여한다. 1x나노 및 그 이하 노드의 반도체 제조 공정에서 활용되고 있다.

넥스틴의 특허 기술인  듀얼미러 초첨면 어셈블리(Dual-Mirror Focal Plane Assembly)는 355나노미터(nm) 하이파워 펄스 레이저(High-power Pulsed Laser)에서 조사된 빛을 여러 개의 고성능 이미지센서로 분할해, 최고 속도로 넓은 영역 검사가 가능하다. 한국에서 이 같은 기술을 보유한 업체는 넥스틴이 유일하다. 넥스틴은 검사장비 R&D를 위해 이미지 프로세싱 기술 강국인 이스라엘에 현지 연구소를 운영하고 있다.

넥스틴은 올해 이지스의 검사 성능을 보다 높인 이지스2를 출시할 예정이다. 아울러 2D에서 한 단계 더 나아간 3D 웨이퍼 패턴 검사 장비 아이리스(IRIS)도 개발을 완료하는 것이 목표다. 3D 장비에는 다중 비초점면 이미징 기술이 적용돼 보다 면밀하게 웨이퍼 패턴 결함을 검사할 수 있다고 넥스틴은 강조했다.

박태훈 대표는 “넥스틴은 최고의 결함검사 및 계측 솔루션을 지속적으로 제공할 것”이라면서 “국내 유일 계측&검사 장비 전문회사로 성장할 것”이라고 포부를 밝혔다.

박태훈 넥스틴 대표.

 


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