ASMK, 경기도 화성에 R&D 및 제조공장 구축
ASMK, 경기도 화성에 R&D 및 제조공장 구축
  • 한주엽 기자
  • 승인 2019.01.02 13:50
  • 댓글 0
이 기사를 공유합니다

한국 고객사 요구 즉각 대응
[세미콘코리아 2019 전시 참가기업]
ASMK 경기도 동탄 신사옥 전경.

김용길 ASM코리아(ASMK) 대표이사는 “작년 10월 경기도 화성 동탄에 연구개발(R&D) 및 제조공장을 완공했다”면서 “외국 장비 업체로는 처음으로 국내에 연구, 제조, 판매, 서비스를 일괄 제공할 수 있는 거점을 마련, 고객사 요구에 적극 대응할 수 있게 됐다”고 말했다.

네덜란드에 본사를 둔 ASM은 1968년 설립된 회사다. 원자층증착(ALD) 등 증착 장비가 전문 분야다. 매출액 기준 세계 10대 반도체 전공정 장비 업체로 꼽힌다.

ASMK는 지난 2015년 9월 경기도와 투자 협약을 맺은 이후 2년여간 생산 계획, 라인 설계를 마친 뒤 본격 투자에 돌입했다. 작년 10월 R&D 센터 및 제조공장을 완공했다. 해외 유력 반도체 장비 업체가 국내에 완전한 생산라인을 갖춘 것은 이례적인 일이다. 일부 미국 장비 업체가 국내에 생산 공장을 보유하고 있긴 하나 핵심 부품은 본사에서 조달한다. ASMK는 국내에서 핵심 장비를 생산하고, 이렇게 생산된 장비는 국내 뿐 아니라 아시아 각국으로 수출도 될 것이라고 밝혔다.

ASMK의 대표 품목은 ALD 장비인 씨너지스(Synergis), 플라즈마 기반 ALD 장비인 타이탄 엔티(TITAN NT), 에피택시(Epitaxy) 증착 장비인 인트레피드 등이 있다. 씨너지스는 차세대 반도체 제조시 메탈라인 및 증착막을 형성할 때 활용되는 장비다. 고품질의 ALD 필름을 저온에서 처리해야 하는 공정에 적합하다.

타이탄 엔티는 차세대 3D 구조 반도체를 생산할 때 기포나 공극 없이 막을 형성하는 갭 필(gap fill), 선택적 증착 공정에서 활용되는 PEALD 장비다. ASM의 PEALD 장비는 관련 장비 가운데 세계에서 처음으로 양산 라인에 도입된 바가 있다.

에피택시 증착 공정에 사용되는 인트레피드는 웨이퍼 표면에 실리콘(Si), 실리콘-제르마늄(SiGe), 실리콘 인광(SiP) 등 실리콘 기반 화합물을 증착할 수 있는 장비다. 4개의 챔버를 갖춰 생산성이 높다. 챔버별로 정밀한 온도 제어가 가능하다.

김 대표는 “ASMK는 장비, 공정 분야에서 고객사에 혁신 솔루션을 지속 제공하겠다”면서 “이와 함께 양질의 국내 일자리를 창출해 한국 경제에 보탬이 될 것”이라고 말했다.

김용길 ASMK 대표이사.

 


댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 0
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.

  • 서울특별시 강서구 공항대로 213 (보타닉파크타워2) 615, 616호
  • 대표전화 : 02-2658-4707
  • 팩스 : 02-2659-4707
  • 청소년보호책임자 : 이수환
  • 법인명 : 주식회사 디일렉
  • 제호 : 디일렉
  • 등록번호 : 서울, 아05435
  • 등록일 : 2018-10-15
  • 발행일 : 2018-10-15
  • 발행인 : 한주엽
  • 편집인 : 한주엽
  • 전자부품 전문 미디어 디일렉 모든 콘텐츠(영상,기사, 사진)는 저작권법의 보호를 받은바, 무단 전재와 복사, 배포 등을 금합니다.
  • Copyright © 2019 전자부품 전문 미디어 디일렉. All rights reserved. mail to powerusr@thelec.kr
ND소프트