◎SK하이닉스 우시공장 ASML NXT2000i 반입
◎SK하이닉스 우시공장 ASML NXT2000i 반입
  • 디일렉
  • 승인 2018.12.20 00:00
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| 출처 : 아이지웨이(爱集微), 디일렉 | 12월 20일

○중국에 처음으로 반입된 ASML NXT2000i

-지난 19일 중국 장쑤성(江苏) 우시공장에 네델란드 반도체 장비업체 ASML의 최신 DUV(Deep UV, 심자외선) 노광장비 NXT2000i가 반입됨. 중국에 처음으로 수입된 장비라고 현지 언론이 보도.

-ASML는 올해 2분기 컨퍼런스콜에서 이 장비 출하 시작을 알리며 "EUV(Extreme UV, 극자외선) 장비와 함께 사용해, 5·7나노미터(nm) 로직 노드(node)에서 2.5나노미터 수준의 생산 오버레이 (on-product overlay)가 가능하다"고 밝힌 바 있음. 3분기 컨퍼런스콜에선 "제품 판매에 의미 있는 진전을 이뤘다"며 "로직 7나노미터와 첨단 D램 노드 양산에 활용될 것"라고 밝힘.

○ASML은 네덜란드 회사, 미국 제재와 관계 없어

-중국 언론 MIT과기평론(科技评论)에 따르면, ASML 중국 총괄 션보(沈波)는 지난 9월 중국 우시 (无锡)시에서 열린 반도체 컨퍼런스 '중국집적회로제조연회(CICD) 2018'에서 "NXT2000i 장비가 곧 중국에 곧 들어온다"면서 "ASML이 최신 장비를 중국에 팔고 있지 않다는 소문은 사실이 아니다"라고 말함.


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