삼성디스플레이는 2021년 가동예정인 퀀텀닷(QD)디스플레이 생산라인 Q1에 유도결합플라즈마(ICP, Inductively Coupled Plasma) 건식식각 장비 7대를 조달할 계획이다. 장비 업체들과 공급단가 협상중인 것으로 3일 전해졌다. 공급을 두고 국내 아이씨디(ICD)와 원익IPS, 일본 도쿄일렉트론(TEL)의 3파전 양상이 펼쳐지고 있다.
삼성디스플레이는 충남 아산2캠퍼스 A2 공장과 A3·A4 공장에서 각각 5.5세대(1.3m x 1.5m)와 6세대(1.5m x 1.85m) 기판용 ICP 식각장비를 양산라인에 적용, 중소형 유기발광디스플레이(OLED)용 폴리실리콘(LTPS) 박막트랜지스터(TFT)를 만들고 있다. 삼성디스플레이가 8세대(2.2m x 2.5m) ICP 식각장비로 옥사이드(oxide) TFT를 만드는건 QD디스플레이 생산라인이 처음이다.
8세대 옥사이드 TFT 공정을 QD디스플레이 양산에 처음 시도하는 만큼, 생산 난제 가운데 하나가 될 가능성이 높은 것으로 업계는 보고 있다. 디스플레이 업계 관계자는 "LG디스플레이가 2013년 처음 TV용 대형 OLED(WOLED)를 양산할 때 증착보다는 의외로 옥사이드 TFT에서 어려움을 많이 겪었다"며 "삼성디스플레이도 쉽지 않을 것"이라고 말했다.
삼성디스플레이 출신의 또 다른 업계 관계자는 "옥사이드 TFT는 LTPS TFT와 달리 딱 떨어지는 성질이 없어서 안 되는 기술이라고 생각하고 예전에 접었다"며 "LG디스플레이는 들쭉날쭉한 옥사이드 TFT의 성질을 끈기 있게 연구해 결국 양산에 성공했다"고 말했다.
삼성디스플레이의 Q1 생산라인 월 3만장 생산능력 ICP 식각장비 7대 가운데 상당 부분에 대해, 국내 아이씨디의 공급이 유력한 것으로 전해졌다.
아이씨디는 A2와 A3 공장의 ICP 식각장비 대부분을 공급한 바 있다. A4 공장 식각장비는 원익IPS와 각각 45%씩 공급하고 나머지 10%를 일본 도쿄일렉트론이 맡은 것으로 전해졌다. LG디스플레이는 올해 준공된 중국 광둥성 광저우 대형 OLED 생산라인 8세대 월 6만장 생산능력에 ICP 식각장비를 모두 9대 발주했다. 아이씨디 5대, 도쿄일렉트론 2대, 국내 인베니아가 2대씩 할당받았다.
삼성디스플레이 Q1 생산라인 장비 관련 개발팀은 최근 주요 장비 선정 업무를 구매팀으로 이관했다. 도쿄일렉트론은 데모 식각 장비 챔버를 국내에 두고 삼성디스플레이의 요구에 실시간 대응하고 있는 것으로 전해졌다.
