한양대학교가 자체 재원으로 최근 개소한 극자외선(EUV) 노광 기술 산학협력연구센터 운영방안을 소개했다. 다양한 유료 프로그램을 운용해 재정 자립 기반을 구축하겠다는 포부를 밝혔다.
28일 한양대학교는 EUV-IUCC(Inddustry-University Cooperation Center)를 최근 개소했다고 밝혔다. EUV-IUCC 개소 목적은 한양대와 국내외 대학, 연구소 연구 역량을 결집해 국내 EUV 산업 기술 생태계를 활성화하자는 것이다.
센터장은 EUV 분야 국내 최고 권위자인 안진호 신소재공학부 교수가 맡았다. 육세진 기계공학부 교수, 오혜근 응용물리학과 교수, 박진구 재료화학공학부 교수, 김태곤 스마트융합공학부 교수, 김학성 기계공학부 교수가 센터 교원으로, 김지영 UT달라스 초빙교수, 이상설 포항가속기연구소 팀장이 외부 교원으로 참여한다.
한양대학교와 포항가속기연구소는 EUV 광원 구현 환경을 갖춘 국내 유이한 기관이다. 다양한 EUV 부품 소재 특성 평가 및 개발이 가능하다. 한양대는 이미 삼성전자, 에스앤에스텍, 에프에스티(FST), 이솔 등과 EUV 관련 기술 공동 개발 프로젝트를 수행했거나 수행 중이다. 안진호 교수는 "기업에 꼭 필요한 기술을 제공할 것"이라면서 "산업계 정보 제공 및 산업체 인력 대상 교육 프로그램도 마련하겠다"고 말했다.
이날 한양대는 센터 개소 홍보차 산학협력포럼을 열었다. 삼성전자, ASML, 이솔, 에스앤에스텍, FST, 나노연구조합, 포스텍 등 국내외 기업과 연구기관이 포럼에 참여했다. 김우승 한양대 총장은 포럼 축사에서 "센터가 지속가능하려면 재정 자립 기반을 구축해야 한다"고 말했다. 그는 기업 스스로 센터 문을 두드리고 비용을 낼 수 있게끔 양질의 지식 콘텐츠와 연구 역량을 제공할 것이라고 강조했다.
EUV-IUCC는 산학협력과제를 수행해 연구 재원을 마련할 계획이다. 유료 회원사도 모집한다. 회원사가 되면 최신 EUV 연구동향 정보를 받아볼 수 있다. 센터 및 해외 협력기관 장비도 활용 가능하다. 기술이전 우선 협상권, 워크숍 개최시 무료 참여, 국책연구개발사업 공동 참여 기회도 얻을 수 있다. 연회비는 다이아몬드가 1000만원, 골드 500만원, 실버 300만원, 브론즈 100만원이다.
