SMIC, 올해 안에 12나노 핀펫 공정 시험생산 돌입
SMIC, 올해 안에 12나노 핀펫 공정 시험생산 돌입
  • 전동엽 기자
  • 승인 2019.11.19 07:47
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중국 최초 14나노 핀펫 공정 양산
SMIC 베이징 팹(fab)
SMIC 베이징 팹(fab)

중국 1위 파운드리 업체 SMIC가 연말에 12나노 핀펫 공정 시험생산(Risk Production)에 들어갈 것으로 보인다. 올해 6월 있었던 2분기 실적발표에서 14나노 핀펫 공정 시험생산을 진행 중이라고 밝힌바 있다. 6개월 만에 시험생산 공정 수준을 올린 셈이다.

대만 매체 디지타임스는 SMIC가 올해 말까지 12나노 핀펫 시험생산으로 옮겨 갈 것이라고 현지시간 14일 보도했다. SMIC는 지난 3분기 실적 발표에서 12나노 핀펫 공정 개발은 진행 중이며 고객사의 참여도 꾸준히 이어지고 있다고 밝혔다.

시험생산은 양산 직전에 공정을 미리 가동하면서 발견되는 문제점을 고치는 단계다. 시험생산을 마치면 문제점을 보완한 후 양산 단계로 넘어간다. 위험생산에서 양산까지는 통상 1년 정도 기간이 소요된다. 

양산에 돌입한 14나노는 4분기에 첫 매출이 발생할 예정이다. SMIC는 3분기 실적발표를 통해 14나노 핀펫 공정 양산에 들어갔다고 밝혔다. 업계에 따르면 SMIC 14나노 핀펫 공정 수율은 95%까지 올라왔다고 알려졌다. 이는 중국의 첫 번째 14나노 핀펫 공정이다. SMIC는 14나노 공정에서 월 3만5000장 수준 웨이퍼 생산능력을 목표로 하고 있다. 

SMIC는 파운드리 선두 업체들과 기술 격차를 좁히기 위해 투자를 진행 중이다. 2017년 양몽송 전 삼성전자 부회장을 공동 최고경영자(CEO)로 영입하면서 핀펫 공정 개발에 박차를 가했다. 양 CEO 영입 2년 만에 양산까지 이뤄냈다. 양몽송 박사는 핀펫 기술 최고 전문가로 알려져 있다.

업계 선두인 TSMC와 삼성전자 파운드리 사업부는 7나노 공정 양산을 넘어 5나노 공정 양산을 준비 중이다. SMIC는 현재 선두 기업과 10년 정도 기술 격차가 있다는 게 업계의 평가다.

지난해 5월에는 1300억원을 들여 ASML의 EUV 장비 1대를 구매했다. EUV노광장비는 7나노 이하 초미세 공정에 필수적인 장비다. ASML은 전 세계 유일 극자외선(EUV)노광장비 제작 업체다. 이 장비는 아직 SMIC에 설치가 완료되지 않았다. 

양몽송 CEO는 분기실적 발표를 통해 "14나노 공정은 올해 4분기에 매출이 발생할 것"이라며 "12나노 공정 개발은 돌파구를 마련해 꾸준히 진행 중"이라고 말했다.

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#SMIC


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