국내 세정장비업체 디바이스이엔지가 지난 9월 삼성전자 경기 화성시 극자자외선(EUV) 전용 파운드리 생산라인에 풉(FOUP) 세정장비 초도 물량을 공급한 것으로 4일 전해졌다.
삼성전자는 기존 비메모리 생산라인에서 디바이스이엔지와 미국 브룩스오토메이션로부터 풉 세정장비를 조달받아 왔었다. EUV 전용 라인에서는 디바이스이엔지가 브룩스오토메이션을 제치고 풉 세정장비를 우선 공급했다. 메모리 생산라인에서는 디바이스이엔지와 일본 휴글이 풉 세정장비를 함께 공급하고 있다.
풉은 둥그런 웨이퍼를 층층이 쌓아 넣는 일종의 배달 가방이다. 육면체 모양이다. 생산라인에서 각 공정별 장비를 통과한 웨이퍼는 다른 장비에 투입될 때 풉에 담겨 이동한다. 배달원 역할을 하는 OHT(Over Head Transport) 장비가 풉을 운반한다.
공정을 끝내고 잔열이 남은 웨이퍼는 가스를 배출하게 되고 이물이 풉내부에 생성된다. 공정이 미세화하면서 풉안 이물 문제가 커졌다. 풉 세정장비는 이온을 없앤 물인 초순수(DIW)로 풉 내부를 세척한다. 파운드리에서 EUV 장비는 7나노미터 이하부터 적용됐다.
삼성전자 EUV 전용라인에 풉 세정장비 초도물량을 공급한 올해 9월 디바이스이엔지는 중국 디스플레이업체와 파인메탈마스크(FMM) 세정장비 공급계약을 공시했다. 중국 디스플레이업체 우한 티엔마(Tianma)와 허페이 비전옥스(Visionox)에서 각각 123억원, 489억원 상당 장비를 수주했다. 중국 시장에서 FMM 세정장비 공급은 일본 오카와와 경쟁하고 있다.
디바이스이엔지는 삼성디스플레이에 파인메탈마스크(FMM) 세정장비를 독점 공급하고 있다. 매출에서 FMM 세정장비가 풉 세정장비보다 더 큰 비중을 차지한다.
FMM은 판화의 판에 해당한다. 중소형 유기발광디스플레이(OLED) 생산에 쓰인다. 판화를 만들때 판위에 잉크가 묻듯, 레드(R) 그린(G) 블루(B) 유기물 증착공정에서 FMM 위에도 유기물이 증착된다. FMM에 뚫린 구멍을 빠져나간 유기물이 기판에 증착해 픽셀을 형성한다. FMM 세정에는 유기용매나 알칼리 용매를 사용된다.
