LED 검사 장비업체 에타맥스(Etamax)가 실리콘카바이드(SiC) PL(빛발광, Photoluminescenece) 검사 장비를 개발하고 있다. 정현돈 에타맥스 대표는 20일 "일단 시장에 진출할 때는 거기에서 1등을 할 수 있는 경쟁력을 갖춰서 나가려고 한다"며 "제품 출시 시점은 내년으로 예상한다"고 말했다.
SiC PL검사장비 시장은 현재 일본 장비업체 레이저텍(Lasertec)이 독보적 기술력을 갖춘 업체이며, 세계 1위 반도체 계측장비 업체 미국 KLA도 일정부분 시장을 차지하고 있는 것으로 알려져 있다. 에타맥스는 우선 국내에서 장비 공급 경험을 쌓고 해외 시장에 진출할 계획이다.
2008년 설립된 에타맥스는 국내에서 LED 산업 투자가 본격적으로 이뤄지던 2010년초 당시 PL검사장비 시장을 독점하다시피한 미국 나노매트릭스(Nanometrics)와 경쟁하며 장비공급을 시작했다. 정 대표는 "국내 LED 투자가 끊긴 이후로는 매출 대부분이 수출에서 발생하고 있다"며 "지금은 우리가 LED PL검사 장비시장 점유율 1위"라고 했다. 지난해 67억원 매출 가운데 수출액 비중은 60억원 가량이었다.
PL검사 장비는 빛을 받으면 다시 빛을 방출하는 반도체 특성을 이용해 검사체의 결함유무를 가린다. 유기화합물유기금속화학증착(MOCVD) 장비로 성장시킨 에피웨이퍼 검사와 LED 소자 제작 공정 등에서 쓰인다. 에타맥스는 1,2위 MOCVD 장비업체인 미국 비코(Veeco)와 독일 엑시트론(Aixtron)을 고객사로 두고 있으며, 대만 마이크로LED 업체 플레이나이트라이드(PlayNitride, 錼創科技)에도 장비를 공급했다. 최대 고객사는 중국 1위 LED 업체 산안광전(三安光电)이다.
독일 반도체 업체 인피니온(Infineon)의 파워 디바이스(Power Device) 생산공정에도 에타맥스의 PL검사 장비가 쓰이고 있다. 정 대표는 "화합물 반도체는 모두 PL검사가 필요하다"고 말했다. 둘 이상의 화학원소로 이뤄진 화합물반도체는 메모리 칩 생산에 주로 쓰이는 고순도 실리콘(Si)이 아닌, 갈륨나이트라이드(GaN), SiC 등이 기반인 반도체를 말한다. GaN 웨이퍼로는 LED칩과 파워 디바이스를 모두 만들 수 있다.
PL검사는 빛을 이용한 간접검사에 해당한다. 직접 전기를 흘려보는 EL(전기발광, Electroluminescence)검사보다 정확도가 높을 수 없다. 마이크로LED 디스플레이 공정에 EL검사 장비는 아직 도입되지 않은 것으로 알려져 있다.
마이크로LED는 통상 100µm(마이크로미터) 이하인 LED 칩을 지칭하는데, EL검사를 하려면 프로브스테이션(ProbeStation) 접합부의 크기도 함께 작아져야 한다. 또한, LED 칩이 작아지는 만큼 검사대상이 많아져 EL검사장비 가격이 비싸진다. 정 대표는 "PL검사가 완벽하지 않기에 EL검사를 해야하는 건 맞지만, EL검사는 연구개발에서는 쓸수 있을지 몰라도 양산용으로는 부적합하다"고 했다.
