세계 10대 반도체 전공정 장비 업체로 꼽히는 네덜란드 ASM인터내셔널(ASMI)의 자회사 에이에스엠케이(ASMK)가 경기도 화성시 동탄에 첨단 생산라인 겸 통합 신사옥을 준공하고 지난 달 말 준공식을 열었다고 8일 밝혔다.
신사옥은 대지면적 약 7200제곱미터(㎡)에 연면적 약 2만㎡로 지어졌다. 지하 1층부터 지상 6층 규모로 연구, 생산, 물류, 사무실을 갖췄다. 최대 근무 인원은 400명이다.
김용길 ASMK 대표이사는 “유수의 글로벌 반도체 전공정 장비회사로는 유일하게 연구, 개발, 생산 및 서비스 등의 기능을 모두 갖춘 사옥을 지었다”면서 “한국 반도체 산업의 새로운 도약에 기여하고, 일자리 창출 및 지역경제 활성화에 이바지할 것”이라고 말했다.
화성 신사옥에선 ASMK의 플라즈마 원자층증착(PEALD)가 생산될 예정이다. PEALD는 원자층 두께로 매우 얇은 박막을 실리콘웨이퍼에 덮을 수 있다. 이 회사 PEALD 장비는 D램 패터닝 공정에서 주로 쓰인다.
네덜란드에 본사를 둔 ASM은 올해로 한국에서 사업을 시작한 지 30년이 된다.
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