국내 반도체 소재·부품업체 미코세라믹스가 주력 제품인 세라믹 히터 생산능력을 대폭 늘린다. 올해 초부터 신공장 설계를 시작해, 2024년까지 완공 및 1단계 장비 투자를 완료할 계획이다. 주요 고객사의 팹 증설에 따른 세라믹 히터 수요 증가에 선제적으로 대응하기 위한 전략으로 풀이된다.

3일 업계에 따르면 미코세라믹스는 주력 제품의 생산능력 확대를 위해 올 1분기부터 강릉 신공장 증설에 들어간다.

미코세라믹스는 지난 2020년 미코로부터 물적분할을 통해 설립된 반도체 장비용 세라믹 소재·부품 전문업체다. 세라믹 히터, 정전척(ESC), 세라믹 파츠 등을 주력으로 생산하고 있다. 이 중 세라믹 히터가 전체 매출의 70%에 달하는 비중을 차지하고 있다.

미코세라믹스는 세라믹 히터의 생산능력 확대를 위한 방안을 추진 중이다. 기존 제조 1·2·3공장이 위치한 강릉에 지난해 신규 부지를 추가적으로 확보했으며, 올해 1분기부터 세라믹 히터 제조용 공장 설계를 시작할 것으로 알려졌다. 완공 및 1단계 장비 투자 완료 목표 시기는 2024년으로 보고 있다. 나아가 2025년부터는 2단계 장비 투자를 진행할 계획이다. 

신공장의 구체적인 투자 규모는 알려지지 않았으나, 신공장 증설 완료 시 미코세라믹스의 세라믹 히터 생산능력은 크게 확대될 전망이다. 현재 미코세라믹스 강릉 1·2·3공장 내 세라믹 히터, 정전척, 세라믹 파츠 등의 최대 생산능력은 도합 연 1500억원 정도로 추산된다.

미코세라믹스가 이처럼 설비투자에 적극 나서는 이유는 반도체 산업 전반에서 세라믹 히터에 대한 수요가 증가할 것으로 예상되기 때문이다. 세라믹 히터는 반도체 CVD 증착 공정에 사용되는 핵심 부품으로 웨이퍼에 열을 가해주는 역할을 맡고 있다.

기존 히터 소재로는 주로 메탈이 활용돼왔다. 그러나 반도체 공정의 고도화로 증착 시 필요한 온도가 더 높아지면서, 세라믹 히터에 대한 수요가 증가하는 추세다. 세라믹은 메탈과 달리 실리콘 웨이퍼와의 열팽창계수(온도가 높아질수록 물체의 부피가 커지는 정도)가 유사해, 고온 환경에서도 안정적으로 작동한다. 또한 실리콘은 메탈 대비 열전도율과 균일도가 뛰어나 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.

주요 고객사가 생산능력을 확대 중이라는 점도 미코세라믹스에겐 긍정적인 요소다. 미코세라믹스는 세라믹 히터를 원익IPS·테스·ASM 인터내셔널 등 국내외 증착장비업체와 삼성전자·SK하이닉스 등 반도체 소자업체를 모두 고객사로 두고 있다. 최근 TSMC 및 삼성전자가 신규 반도체 팹을 적극 증설함에 따라, 미코세라믹스의 제품 수요도 증가할 것으로 전망된다.

한편 미코세라믹스는 세라믹 히터를 제외한 나머지 사업도 동시에 강화하고 있다. 세라믹 파츠 생산라인은 올해 증설을 완료할 계획이며, 정전척 역시 생산능력 확대를 위한 투자 계획을 수립 중인 것으로 알려졌다.

디일렉=장경윤 기자 jkyoon@thelec.kr
《반도체·디스플레이·배터리·전자부품 분야 전문미디어 디일렉》

장경윤 기자 다른기사 보기