삼성전자가 반도체 사업 '초격차'를 유지하기 위한 방편으로 첨단 설비에 대한 연구개발(R&D) 활동에 더 많은 역량을 집중할 계획이다.
7일 업계에 따르면 삼성전자 디바이스솔루션(DS) 부문 내 생산기술연구소는 올 상반기 내내 감사에 해당하는 경영진단을 받았다. 진단 목적과 결론은 '효율적 조직 운용', '차세대 핵심 설비에 대한 R&D 집중'에 맞춰진 것으로 전해졌다.
생산기술연구소는 1980년 삼성전자 종합연구소내 '공장자동화과'로 만들어졌다. 1983년 생산기술연구소로 독립했다. 1992년 생산기술센터, 2006년 생산기술연구소로 명칭이 변경됐다. DS 부문으로 편입된 것은 지난 2011년이다. 생산기술연구소는 DS로 편입된 이후인 2012~2013년 경영진단을 받은 바 있다. DS 부문 내에서 대대적인 경영진단을 받은 것은 이번이 두번째다.
첫 경영진단 당시에는 반도체 설비에 집중하자는 결론이 나왔다. 전사 조직에서 DS 부문으로 편입된 만큼 일반 제조 생산 설비 연구 과제는 서서히 내려놓게 됐다. 사용하던 반도체 장비를 직접 개조, 개선하자는 방안 역시 당시 진단 이후 도출된 결론이었다. 구형 장비를 뜯어고쳐 신형으로 만들어쓰면 설비 구매비를 대폭 절감할 수 있다.
올해 진단에선 '차세대 핵심 설비'에 대한 R&D를 강화하겠다는 방향성을 갖고 결론이 난 것으로 전해졌다.
현재 핵심 반도체 공정에서 사용하는 식각 장비는 생산기술연구소의 R&D 결과물이다. 고대역폭메모리(HBM) 및 3단 적층 이미지센서 생산용 열압착(TC) 본더 역시 마찬가지다. 생산기술연구소가 만든 결과물은 자회사가 생산을 맡는다.
업계 관계자는 "부가가치가 높으면서도, 없으면 안 되는 핵심 설비에 대한 R&D를 보다 강화할 것으로 보인다"면서 "대표적 예가 얼마 전 선보인 극자외선(EUV) 마스크 결함 검사장비인 EMDRS(EUV Mask Defect Review System)다"라고 말했다.
EMDRS는 EUV용 마스크 결함 여부를 조기 진단할 수 있는 검사 장비다. 지난 10월 17일 삼성테크데이에서 첫 공개됐다. 마스크 결함 진단 설비 분야 강자는 독일 칼자이즈다. 이 회사의 마스크 결함 진단 장비는 가격이 1000억원이 넘는 고가인데다 발주 후 설치되는 데 까지 일년 가까이 시간이 걸린다.
또 다른 업계 관계자는 "삼성전자가 직접 이런 장비를 직접 개발하면 이른바 설비 회사의 '배짱영업'을 저지할 수 있는 좋은 수단이 될 수 있다"면서 "생산기술연구소가 이러한 첨단 설비를 선행개발하는 쪽으로 역량을 더 집중할 것으로 본다"고 말했다.
지난해까지 삼성전자 생산기술연구소장직은 김용식 세메스 대표가 겸임해왔다. 올 초부터 양장규 전무가 연구소장 직무를 맡고 있다. 양 전무는 세계 1위 반도체 장비 회사 어플라이드머티어리얼즈 출신이다.
