美AMAT, 중국서 OLED 증착장비 영업 활발
美AMAT, 중국서 OLED 증착장비 영업 활발
  • 이종준 기자
  • 승인 2019.05.09 15:32
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수직 증착방식 장비 개발 끝낸 듯

세계 1위 디스플레이 장비업체 미국 어플라이드머티리얼즈(AMAT)가 OLED 증착장비를 개발, 지난해 말부터 중국 디스플레이업체를 대상으로 활발한 영업을 하고 있는 것으로 9일 전해졌다. 이 분야 독보적 1위인 일본 캐논토키(Canon Tokki) 이하, 국내 SFA(에스엔유프리시젼), 선익시스템, 일본 알박(Ulvac) 등 2위권 다툼이 치열해질 전망이다.

국내 증착기 업체 관계자는 "어플라이드머티리얼즈가 작년 말부터 중국 디스플레이업체 입찰에 본격 참여하고 있다"며 "다른 공정장비간 호환성과 친숙한 사용자인터페이스(UI)가 큰 강점으로 보인다"고 말했다. "아직 수주 실적은 없는 것으로 안다"고도 했다.

디스플레이 업체는 플렉시블 OLED 생산라인에서 어플라이드머티리얼즈의 박막트랜지스터(TFT) 증착용 화학기상증착(CVD) 장비와 박막봉지(TFE) 공정용 무기물 증착장비 등을 기본으로 사용한다.

시장조사업체 DSCC에 따르면, 어플라이드머티리얼즈는 지난해 디스플레이 장비시장 점유율 20.6%를 기록, 일본 캐논(18.6%)을 제치고 1위를 차지했다. 캐논은 2017년 시장점유율 1위(20.7%)였다.

어플라이드머티리얼즈는 기존 수평 증착방식이 아닌 수직 증착방식으로 장비를 개발해왔다. 국내 마스크 인장장비 업체 케이피에스가 어플라이드머티리얼즈와 함께 수직 증착용 마스크 인장기를 개발했었다. 마스크 인장장비는 증착공정에 쓰이는 파인메탈마스크(FMM)를 잡아주는 역할을 한다.

중국 디스플레이업체를 상대로 영업을 시작한 만큼, 어플라이드머티리얼즈는 수직식 증착장비 개발을 완료한 것으로 보인다. 수직 증착방식은 대면적에서의 마스크·기판 처짐 현상을 개선하고자 고안된 방식이다. 플렉시블 OLED 양산라인에 6세대(하프컷)보다 큰 수평식 증착장비는 없다. 

국내 디스플레이 업계는 중국 로욜(Royole)의 추가 투자가 임박한 것으로 는 보고 있다. 로욜의 1차 투자 당시 5.5세대 증착기는 SFA가 공급했었다. 증착공정용 장비를 만드는 또 다른 업체 관계자는 "이번에는 선익시스템이 우세하다는 관측이 있다"고 말했다.  

디스플레이업계 관계자는 "로욜의 추가 투자는 작년부터 나오던 얘기가 지금까지 연기됐다"며 "2분기안으로는 결정이 나온다는 게 최근 분위기"라고 말했다. "시간을 끌면서 업체간 경쟁을 유도해 납품 단가를 낮추려고 하는 것 같다"고도 했다.


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