램리서치, 자가 유지보수 장비로 최고 생산성 기록
램리서치, 자가 유지보수 장비로 최고 생산성 기록
  • 이예영 기자
  • 승인 2019.04.29 14:48
  • 댓글 0
이 기사를 공유합니다

챔버 열지 않고 자동으로 부품 교체
가동 중단 시간 대폭 감소
램리서치의 Kiyo
램리서치의 Kiyo

반도체 웨이퍼 제조 장비·서비스 공급업체 램리서치(Lam Research)는 29일 자가 유지보수 장비를 사용해 최고 생산기록을 달성했다고 29일 밝혔다. 램리서치 식각공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사는 1년간 중단 없이 장비를 가동하는 데 성공했다.

반도체 공정에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 큰 요소다. 식각공정 모듈은 안정적인 성능 유지와 플라즈마 공정 중 부식된 부품 교체를 위해 월 또는 주 단위로 세정된다.

식각공정 모듈은 주기적인 유지보수와 소모품 교체도 필요하다. 챔버를 열어 부품을 교체하고 세정한 뒤 챔버의 적격성을 재평가해야 하기 때문에 많은 시간과 인력이 소모된다. 생산성에도 영향을 미쳐 복잡한 일정 조정도 수반된다. 자가 유지보수 솔루션을 사용하면 장비가 부품 교체 시점을 인식해 챔버를 열지 않고 자동으로 부품을 교체하기 때문에 장비 가동 중단 시간이 줄어 전체 설비 생산성이 향상된다.

이번 솔루션에는 램리서치의 Kiyo 프로세스 모듈, 진공 트랜스퍼가 장착된 Corvus R 교체식 엣지링, 수명이 긴 챔버 구성품, 최적화된 웨이퍼리스 자동 세정 기술 등이 포함됐다. Corvus R 시스템은 업계 최초의 자동 소모품 교체 시스템으로 이번 솔루션에서 주요 역할을 했다. 식각 공정에선 챔버를 자주 열어 부품을 교체해야 하기 때문에 엣지링 부식은 오래 전부터 해결해야 할 과제였다. Corvus R은 사용한 엣지링을 새 엣지링으로 자동 교체하기 때문에 챔버를 열 필요가 없다.

이 기술은 램리서치의 장비 인텔리전스(Equipment Intelligence) 솔루션의 일부다. 장비 인텔리전스는 자가 인식, 자가 유지보수, 적응식 장비와 공정의 핵심 요소를 통합해 구현했다. 머신 러닝, 인공 지능 프로그램, 자동화된 자가 인식 하드웨어와 공정의 통합을 통한 생산성, 성능, 혁신성 향상 효과를 제공한다.

바히드 바헤디(Vahid Vahedi) 램리서치 부사장이자 식각 제품군 사업부장은 “램리서치는 반도체 제조사들이 더 빠르고 정확하고 쉽게 생산성을 높일 수 있도록 4차 산업혁명 기수를 구현하는 데 전념하고 있다”며 “이번 사례로 자가 유지보수 장비를 이용해 인적 개입을 줄이면서 효율을 높일 수 있다는 것이 증명됐다”고 말했다.


댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 0
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.

  • 서울특별시 강서구 공항대로 213 (보타닉파크타워2) 615, 616호
  • 대표전화 : 02-2658-4707
  • 팩스 : 02-2659-4707
  • 청소년보호책임자 : 이수환
  • 법인명 : 주식회사 디일렉
  • 대표자 : 한주엽
  • 제호 : 디일렉
  • 등록번호 : 서울, 아05435
  • 사업자등록번호 : 327-86-01136
  • 등록일 : 2018-10-15
  • 발행일 : 2018-10-15
  • 발행인 : 한주엽
  • 편집인 : 한주엽
  • 전자부품 전문 미디어 디일렉 모든 콘텐츠(영상,기사, 사진)는 저작권법의 보호를 받은바, 무단 전재와 복사, 배포 등을 금합니다.
  • Copyright © 2019 전자부품 전문 미디어 디일렉. All rights reserved. mail to powerusr@thelec.kr
ND소프트