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국책과제로 큰 韓회사, 中반도체 장비 국산화 프로젝트 동참
국책과제로 큰 韓회사, 中반도체 장비 국산화 프로젝트 동참
  • 이종준 기자 | semiphil@thelec.kr
  • 승인 2018.11.01 17:39
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아이작리서치, 중국 현지 'ALD 국산화 프로젝트'
'중한(中韓) 반도체 ALD장비 국산화 프로젝트 발표회'에 참석한 박형상 아이작리서치 대표.
'중한(中韓) 반도체 ALD장비 국산화 프로젝트 발표회'에 참석한 박형상 아이작리서치 대표(사진 D램익스체인지).

국내 중소 반도체 장비업체 아이작리서치(ISAC)가 중국 현지 파트너의 원자층박막증착(ALD: Atom Layer Deposition) 장비 국산화 프로젝트에 동참했다. 지난달 16일 중국 광둥성(广东) 선전시(深圳) 힐튼호텔에서 연 발표회 내용이 뒤늦게 알려졌다.

대만 매체 D램익스체인지는 지난달말 "한국 아이작리서치가 선전룽촹(深圳融创)그룹과 함께 현지 법인인 아이사커반도체과기유한공사(埃萨克半导体科技有限公司, 아이사커)를 만들어 반도체 ALD장비 관련 제품과 기술을 중국에 들여오기로 했다"면서 이같이 전했다. 또 "중국 반도체 업계의 장비 국산화율을 끌어올린다는 목표를 함께 실현하게 될 것"이라고도 했다.

1일 중국 국가기업신용정보공시에 따르면 아이사커의 자본금은 1000만위안(약 16억원)으로 올해 9월 26일 설립됐다. 주주는 후난룽하오실업유한공사(湖南融灏实业有限公司, 룽하오)와 치엔하이베이진윈자산관리심천유한공사(前海贝易金运资产管理深圳有限公司, 베이진윈) 둘 뿐이다. 선전시룽촹발전실업유한공사(深圳市融创发展实业有限公司, 선전룽촹발전)가 룽하오와 베이진윈의 주식을 모두 가지고 있다. 룽하오와 베이진윈의 주주는 같은 법인 1곳(선전룽촹발전)과 각기 다른 개인 1명으로 구성되어 있다. 지분율은 공개되지 않았다. 선전룽촹발전이 룽하오와 베이진윈을 통해 아이사커를 실질지배하는 모양새다.

2016년 5월 설립된 선전룽촹발전의 자본금은 3000만위안(48억원)이며 방젠원(方建文) 대표가 지분 100%를 가지고 있다. 중국 기업정보공시상에서 아이작리서치와 아이사커의 명시적 지분관계는 확인되지 않았다.

'중국의 반도체 ALD 장비 국산화'가 목표인 아이사커의 홈페이지(isac-ald.com) 화면 구성은 회사 소개, 주소 등을 제외하고 국내 아이작리서치의 홈페이지(isacresearch.com)와 거의 같다. 아이사커는(埃萨克)는 영어 아이작(ISAC)을 소리 나는대로 옮긴 중국어의 음역(音譯)이다. SK하이닉스의 중국 이름인 SK하이리스(海力士), 인텔의 잉터얼(英特尔) 등의 작명법과 같다.

지분관계 없이 해외에서 회사명과 홈페이지 구성을 그대로 가져다 쓰는 경우는 이례(異例)다. 반도체 분야에서 무서운 속도로 추격 중인 중국의 장비 국산화에 참여하겠다고 밝힌 국내 기업 역시 흔치 않다.

D램익스체인지 자료를 보면 박형상 아이작리서치 대표는 '중한(中韓) 반도체 ALD장비 국산화 프로젝트' 발표회에서 "아이작리서치는 한국 최고의 ALD장비 회사"라면서 "ALD 기술을 중국 반도체 시장에 들여오는 것뿐 아니라 중국내 반도체 기업의 생산공정과 수율을 높여 20nm(나노미터)급과 그 이하 공정 발전에도 협력하겠다"고 말한 것으로 나와있다.

같은 자리에서 정즈창 아이사커 이사는 “미국과의 무역전쟁을 맞아 기술 봉쇄가 날로 심해지고 있다”면서 “집적회로(IC) 산업에서 자체 기술확보와 국산화가 굉장히 급박한 상태”라고 했다고 한다. 발표회 약 보름 뒤인 지난달 30일(현지시각) 미국 정부는 중국 D램 생산업체 푸젠진화IC(JHICC, 晋华集成电路)에 대한 자국 장비와 소프트웨어 등 기술의 수출을 제한하는 조치를 발효했다.

D램익스체인지에 따르면 아이작리서치는 내년말 SK하이닉스의 중국 우시(无锡)공장과 삼성전자의 후이저우(惠州) 공장 생산라인에 ALD 장비를 공급할 계획이다. SK하이닉스 우시공장과 삼성전자 후이저우공장은 각각 D램과 스마트폰이 주력 생산품이다. 아이작리서치의 플라즈마(PE)ALD장비는 SK하이닉스의 국내 이천 M14 공장 생산라인에서 테스트 중이며 삼성 수원공장과 베트남 공장에서는 인증단계인 것으로 전해졌다.

대전시 대덕 테크노밸리에 자리한 아이작리서치는 지난해 약 30억원의 매출을 올렸다. ALD와 원자층식각(ALE:Atom Layer Etching) 시스템 개발 관련 정부 과제에 참여하고 정부 출연 연구기관인 한국전자통신연구원(ETRI) 등에 장비를 납품했다. 카이스트(KAIST), 성균관대학교, 한양대학교를 비롯한 여러 대학에도 장비를 공급한 바 있다.

ALD는 원자 단위의 증착 제어 기술을 말한다. 지름이 0.1~0.5nm인 원자를 다루기 때문에 반도체 미세공정에 적합하다. 기체 상태의 전구체(precursor)를 공급해 기판에 흡착, 반응체(reactant)와 반응시키는 등 여러 단계를 거쳐야하기에 박막(thin film)을 만드는데 시간이 오래 걸린다는 점이 한계로 지적되어 왔다. PE(Plasma Enhanced)ALD는 플라즈마를 발생시켜 기존 ALD의 공정 속도를 높인 기술이다.


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