검사장비 사업도 적극 확장…제품군 다변화 차원
오버레이 계측장비 전문업체 오로스테크놀로지가 제품군 다변화에 속도를 낸다. 올해 말 입주하는 경기도 동탄 신공장에서 박막 계측장비 개발에 나설 계획이다.
17일 업계에 따르면 오로스테크놀로지는 오는 4분기 경기도 동탄테크노밸리에 위치한 신공장에 입주한다. 신공장에는 약 200평 규모의 클린룸이 구축된다. 오로스테크놀로지는 이곳에서 초정밀 박막 계측장비 개발을 위한 연구를 진행한다.
박막 계측장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 위에 증착된 박막의 두께가 균일한 지 측정하는 장비다. 오로스테크놀로지가 개발 중인 계측장비는 옹스트롬(0.1nm) 단위의 두께 측정이 가능한 것으로 알려졌다
오로스테크놀로가 신규 장비 개발에 나선 이유는 제품군을 다양화하기 위한 전략이다. 오버레이 계측장비를 주력 사업으로 영위하는 오로스테크놀로지는 현재 검사장비, 박막 계측장비 등으로도 사업을 확장하고 있다.
특히 박막 계측장비의 경우 식각, 증착, 평탄화 등 다양한 공정에 적용할 수 있다는 점에서 유망한 시장으로 꼽힌다. 오버레이 계측장비 대비 시장 규모가 약 2배에 달하는 것으로 추산된다.
오로스테크놀로지 관계자는 "그간 박막 계측장비는 높은 기술 장벽으로 국내업체의 진입이 어려웠으나, 우수한 기술인력을 확보해 테스트 도입이 가능해졌다"며 "내년 말까지 제품개발을 완료해 회사의 중장기 성장동력으로 삼을 수 있도록 할 것"이라고 밝혔다.
오로스테크놀로지는 검사장비인 'WBIS-200'로도 고객사 공급 등 성과를 내고 있다. WBIS-200은 8인치 백사이드 웨이퍼 검사장비다. 쓰루풋(처리능력)이 기존 장비 대비 1.2배 높으며, 딥러닝 솔루션을 제공한다.
현재 WBIS-200은 SK하이닉스의 청주 공장에 납품된 것으로 파악됐다. 내년에는 SK하이닉스가 중국 우시 법인 쪽으로 8인치 파운드리 생산 시설을 이설하면서 추가 공급도 가능할 전망이다.
12인치 PKG 워피지(Warpage) 검사장비도 개발 완료 단계에 접어들어 연내 출시할 계획이다. 워피지 검사장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 휘어지는 정도를 측정하는 장비다. 이 장비는 웨이퍼의 휨이 심한 패키지 공정의 표면 검사에 적합하다. 또한 다양한 표면 형상의 측정이 가능해 FO-WLP, TSV 등 첨단 패키징 기술을 활용한 반도체 공정 변화를 측정하는 데에도 활용할 수 있다.
