반도체 오버레이 계측 장비업체 오로스테크놀로지가 8인치 오버레이 계측 장비를 한국나노기술원에 공급했다. 나노기술원이 국산 오버레이 장비를 공급받은 건 이번이 처음이다.
4일 업계에 따르면 오로스테크놀로지는 지난 6월 말 나노기술원이 진행한 '나노·소재기술개발사업'에 8인치 오버레이 계측 장비인 'Overlay System OL-100n(이하 OL-100n)'을 공급했다.
나노·소재기술개발사업은 나노융합 기술을 통해 소재·부품·장비 및 반도체 산업을 발전시키기 위하 추진되는 프로젝트다. 이를 위해 한국나노기술원은 차세대 시스템반도체 개발에 필요한 후(後)공정 장비를 구축하고 있다.
오로스테크놀로지가 이번 사업에 납품한 OL-100n은 기존 12인치 오버레이 기술을 기반으로 제작된 6인치 및 8인치 오버레이 계측 장비다. 8인치 파운드리 시장이 차량용 반도체, 화합물반도체 등을 중심으로 수요가 증가하는 추세에 맞춰 자체 개발했다.
오버레이는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴 위치가 정확하게 정렬되는지를 측정하는 기술이다. 웨이퍼는 반도체 제조공정에서 노광·식각·증착 등 여러 공정을 반복적으로 거치는데, 이 과정에서 표면에 약 70층에 이르는 막을 형성한다. 이때 상부층과 하부층의 전자회로 패턴이 정확하게 일치해야 반도체 성능에 문제가 생기지 않는다.
반도체 수율 개선에 직접적인 영향을 미칠 정도로 중요한 장비이지만, 0.5나노미터(nm) 이하의 오차를 측정해야 하는 높은 기술적 난이도로 시장에 진출한 업체는 전세계적으로 3개사 밖에 없다. 해외에서는 KLA과 ASML이, 국내에서는 오로스테크놀로지가 유일한 장비 제조업체다.
OL-100n은 해외 경쟁사 대비 향상된 오버레이 성능을 제공한다. 오로스테크놀로지의 테스트에 따르면 OL-100n의 처리능력은 경쟁사 제품에 비해 60% 가량 높은 것으로 나타났다.
한편 오로스테크놀로지는 이번 한국나노기술원 공급을 기점으로 OL-100n 고객사 다변화에 적극적으로 나설 계획이다. 현재 대만 및 한국의 고객사가 OL-100n를 양산공정에 적용 중이다. 오로스테크놀로지는 다른 글로벌 반도체 업체들과도 평가 및 투자 협의를 진행 중인 것으로 알려졌다.
