[차이나 브리프] 중국 반도체 장비 국산화율 보고서
[차이나 브리프] 중국 반도체 장비 국산화율 보고서
  • 손미경 중국 에디터
  • 승인 2021.09.06 09:59
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| 출처 : IC스마트 | 7월 26일

○YMTC 장비 국산화율 16% 
- 중국 장비 산업은 국가의 대대적인 투자와 지원으로 발전기를 맞이했으며, 특히 미중 IT 전쟁이 국산화 시장 확장에 기폭제가 됨. 
- YMTC(창장메모리)는 2016년 약 1600억위안 투자, 3기에 걸친 국가 메모리 프로젝트 추진. 목표 생산량 월 30만장.
- 2019년 1단계 월산 5천장 달성, 2019년 월산 2만장 달성, 2020년 월산 5만장 달성.
- 1기 프로젝트 계획: 월산 10만장 구축해 2022년 가동.
- 2기 프로젝트: 2020년 중반 착공. 
- 반도체 납품주기에 따라 장비 구매는 3단계로 나뉨. 보통 장비 업체 입찰에서 생산까지 2분기, 납품에서 세팅까지 1분기가 소요되고 세팅이 끝나면 생산능력이 가파르게 상승하므로 생산능력 상승 3분기 전 시점을 입찰 시기로 간주할 수 있음. 
- 이에 따라 YMTC의 장비 입찰 상황을 아래와 같이 유추 가능함.
1) 1단계: 17Q2~19Q2,0~20K
2) 2단계: 19Q2~20Q2,20~50K
3) 3단계: 20Q2~21Q4,50~100K
- 지금까지(2021년 6월 30일 기준) YMTC가 입찰한 장비는 노광장비 44대, 식각장비 379대, 박막증착장비 675대, CMP 124대, 감광액 도포/현상/제거 130대, 세척장비 142대, 산화/확산/열처리 241대, 측정장비 381대. 총 가격은 400억~500억위안.
- Gartner 집계에 따르면 각 장비의 비중은 노광장비 18%-21%, 식각장비 20%-25%, 박막장비 15%-17%로 3대 장비가 전공장 장비 투자의 53%-63%를 차지함.
- 중국입찰망(中国采招网)에 따르면 YMTC의 3단계에 걸친 장비 입찰에서 국산 비중은 각각 8%, 14%, 16%.

○장비 종류별 수주 현황
- 식각장비 중 CCP플라즈마 식각장비 수주는 총 184대. 아멕(AMEC) 정도가 대표적 업체. 국산화율 27%. 입찰마다 장비의 세부 종류가 달라 CCP 영약 시장점유율은 23~36% 사이.
- ICP플라즈마 식각장비는 195대. 나우라와 E-Town이 대표적 업체로 국산화율은 19%.

- YMTC의 기술이 64단에서 128단으로 진화하면서 ICP식각장비 수요 상승. YMTC의 단계 장비 입찰에서 나우라의 시장점유율은 4%/13%/19%로 점차 증가.
- 박막증착장비 중 CVC 장비는 총 245대 수주. 대표 업체는 피오테크(PIOTECH, 沈阳拓荆). 국산화율 4%. 
- PVD 장비 총 34대 수주. 대표 업체는 나우라. 국산화율 30%.
- CMP 장비 124대 수주. 대표 업체는 화하이칭커. 국산화율 20%. 
- 세척장비 142대 수주. 성메이반도체 시장점유율 17%/21%/26%로 증가세.
- 측정장비 371대 수주. 아직 국산화율 낮은 편. 나노라이팅(中科飞测)은 주로 검사 분야인 Sufscan에 초점을 맞춰 6대 수주. 상하이리리(上海睿励, RSICSH)와 상하이정측(上海精测)은 주로 OCD 및 막두께측정 분야 장비 총 8대 출하. 

○2기 프로젝트에서 장비 수요 더 늘어날 예정
- 2기 프로젝트의 목표 생산능력은 월 10만장. 2020년 중반 착공해 곧 장비 입찰 예정.
- 1기 장비 구매액에 비춰볼 때 2기 장비 구매액은 최소 400억~500억위안으로 추산됨. 
- 현재 합계 국산화율 16%로 계산하면 최소 64억~80억위안을 향후 2년간 장비 구매에 투입할 것으로 보임.

○장비 국산화 수요 다각화 추세
- 지난해부터는 반도체 슈퍼 사이클 영향으로 장비 수요도 폭발적 증가. 
- 중국은 창장메모리(YMTC), SMIC, 화훙반도체 등 대기업 주문에 의존하던 데서 국내 각종 IDM/ 파운드리/특수공정을 아우르며 다각적인 수요로 확장 중. 
- 중국 팹의 장비수주 현황을 보면 신규 12인치 메모리/파운드리/특수공정 생산라인은 국산장비를 채택하기 시작했음.   

○2021년 장비 수주 분석(중국입찰망 집계)
- 아멕(AMEC)은 플라즈마식각장비 ASMC(GTA Semiconductor), 화훙우시로부터 5대 수주. 주식모집설명서에 나온 식각장비 대당 가격 733만위안으로 추산하면 1억 5000만위안 규모 수주.
- 나우라는 사오싱SMIC, 저장촹신(浙江创芯), 상하이신웨이(上海新微), ASMC 등으로부터 39대 수주. 4억위안 이상 규모.
- 성메이반도체는 화훙우시, 신우커지(芯物科技)로부터 세척장비 14대 수주. 총 금액 3억위안 이상 추정. 
- 이밖에 나노라이팅(中科飞测), 킹세미(芯源微), PNC Process Systems(至纯科技), 화하이칭커(HWATSING, 华海清科), 상해정측에서 각각 6/4/5/1/18대 주문을 수주했음.



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