[차이나 브리프] 중국산 포토레지스트 공급 시작
[차이나 브리프] 중국산 포토레지스트 공급 시작
  • 손미경 중국 에디터
  • 승인 2021.06.11 09:57
  • 댓글 0
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| 출처 : 아이지웨이 | 5월 12일

○남대광전 포토레지스트 국산화 실현, 중국 최초  
- 11일 남대광전이 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 25톤 생산라인에 ASML EUV 노광장비 등을 세팅해 이미 가동을 시작했다고 밝혔음. 
- 품질검사용 노광장비 등의 측정장비는 수입했고 주요 원재료는 자체 개발 및 생산, 생산장비도 국내 기업이 공동으로 개발, 제조해 공급 리스크가 전혀 없다고 함. 
-  2020년 말 자체개발한 ArF 포토레지스트 제품의 모든 광학 성능이 상용화 기준에 도달. 첫 고객사 인증을 통과해 소량 납품을 시작했으며 현재 여러 고객사에 샘플을 보내 인증 진행 중이라고 함. 
- 로직반도체와 메모리용 ArF 포토레지스트 테스트를 진행 중. 테스트 결과, 성능이 일본 제품과 동등한 수준에 도달해 중국 포토레지스트 국산화에 성공한 것으로 평가됨. 
- 올해 주요 고객사 인증을 모두 마치고 내년 양산에 들어가 수익실현을 앞당길 계획.

○남대광전 1분기 경상순이익 245% 증가‧‧‧실리콘 전구체는 상용화 준비 단계 
- 실리콘 전구체 프로젝트는 아직 개발 단계. 현재 실험실 건설을 마치고 연구개발 작업 계획대로 추진 중. 그중 무염TSA, 3CDS(Chemical Delivery System) 2개 제품이 개발에 성공해 상용화 준비 단계에 진입했음.
- MO소스 전구체 분야는 LED 시장 및 3세대 반도체와 고효율 솔라용 배터리 시장 전망이 매우 밝음. 
- 남대광전은 올해 1분기 경상순이익 245% 증가의 요인으로 3대 반도체 소재사업 진출, 전구체 및 전자특수가스 사업의 고성장, MO소스 시장 회복을 꼽았음. 



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