SMIC, 14나노 이상 첨단공정 장비 라이선스 획득
SMIC, 14나노 이상 첨단공정 장비 라이선스 획득
  • 디일렉
  • 승인 2021.04.01 11:28
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| 출처 : IC스마트 | 3월 1일

○SMIC가 이미 14나노 이상 첨단공정 장비 라이선스 획득했단 폭로 나와
- 1일 반도체산업연구기관의 애널리스트가 SMIC가 14나노 이상 공정의 반도체 장비를 미국 일부 기업에서 수입할 수 있는 허가를 받았다고 폭로했음. SMIC가 계속 라이선스 신청을 했지만 통과되지 못한 14나노용 핵심장비도 이번에 허가를 받았다고 함. 
- 최근 모건스탠리 애널리스트도 미국 장비업체가 최근 SMIC에 대한 부품 공급과 현지 서비스를 재개해 SMIC의 소모품 재고 및 장비에 대한 우려가 어느 정도 해소됐다고 보고했음. 
- 이 소문과 관련해 아직 SMIC 측 입장은 나오지 않았지만, 1일 A증시와 홍콩거래소에서 SMIC 주가는 각각 4.7%, 6.79% 올랐음.  
- 현재 미국 주요 장비업체 한 곳이 14나노 이상 공정 재료에 대한 라이선스는 받은 것으로 보임. 그 외 장비업체인 램리서치와 KLA는 아직 승인을 기다리고 있다고 함.

○부품 재고 6월이면 동나···라이선스 확보 시급
- 지난해 12월 18일 미국 상무부는 SMIC와 그 자회사, 주주회사를 블랙리스트에 포함시키며 SMIC 및 그 관련 기업과 수출거래 또는 협력하려는 미국 기업은 반드시 미국 상무부의 라이선스를 획득해야 하고 10나노 이하 선단공정에 필요한 제품 수출은 무조건 제한하는 규정을 만들었음. 
- 이에 SMIC는 블랙리스트 지정이 경영이나 재무에 당장 중대한 영향을 미치진 않겠지만 10나노 이하 공정 개발 및 생산라인 건설에 큰 지장을 초래할 것이라며, 규제 완화를 위해 미국 정부와 계속 소통하겠다고 밝혔음.  
- 사실 SMIC의 14나노 공정 생산라인에 쓰이고 있는 미국 반도체 장비 및 재료는 10나노 이하 공정에도 적용이 가능함. 따라서 기존의 14나노, N+1, N+2 공정 이후 필요한 미국 장비 및 재료의 확보는 어렵겠지만, 28나노 이상 공정용 장비 및 재료의 라이선스는 통과될 가능성이 큼. 특히 현재의 파운드리 대란 상황에서는 더욱 그러함.  
- 올해 2월 자오하이쥔 SMIC CEO는 블랙리스트에 오르면서 장비 공급업체에 주문해 놓은 장비의 인도일이 늦어져 주요 장비는 하반기에나 받을 것으로 본다고 밝혔음.

- 블랙리스트 제정 이후 장비, 부품 공급은 바로 중단됐지만 장비조립, 수리, 부품교환 등 현지서비스는 신속히 재개했음. 장비, 부품, 원재료는 SMIC의 재고에만 의지해야 하는 상황.  
- 앞서 자오하이쥔은 “보존기간이 짧은 화학재료와 기체에 대해서는 3개월 내에 공급을 중단하지 않고, 부품은 6개월 내에 중단하지 않을 것”이라며 “우리도 공급업체와 협의를 통해 방안을 강구하고 있다”고 밝혔음.  
- 지난주 SMIC 내부인사가 부품 재고가 6월에 동날 것이라고 밝혔음. “에피 부품은 6월까지 버티겠지만 그외 부품은 어렵다”고. 얼마 전 SMIC의 8인치 라인 하나는 부품이 없어 가동을 중단했다고 함.

○선단공정 개발 지속 가능할 듯
- 만약 이번 폭로가 사실이라면 SMIC는 성숙공정뿐만 아니라 14나노 선단공정 증설과 N+1, N+2 공정 개발도 지속할 수 있게 됨. 
- 앞서 자오하이쥔은 지난해 말 이미 14나노 공정 월산 1만 5000장 규모 증설 목표를 발표했음. 다만 대량 양산은 아직 요원하다고 했음. 더 큰 규모 증설을 위해서는 수출 라이선스가 반드시 있어야 함.  
- 그는 또 SMIC는 1세대, 2세대 핀펫 멀티플랫폼 개발과 건설을 염두에 두고 있다고 밝혔음. 
- SMIC는 현재 14나노, 12나노, N+1 등이 모두 양산 중이고, 7나노도 올해 4월이면 테스트 양산 돌입 예정. 5나노와 3나노의 핵심이자 가장 어려운 8대 기술도 차질없이 진행 중으로 EUV 장비만 오면 바로 개발 착수할 수 있는 상황임.
- 14나노 공정용 장비와 재료는 10나노 이하 공정에도 적용할 수 있음. 따라서 14나노 공정용 장비 라이선스만 확보하면 더 선진기술인 12나노, N+1, N+2 공정까지 양산이 가능함.    
- 현재로서는 미국 측이 10나노 이하 공정용 장비를 엄격히 제한할 것인지 불명확함. 미국은 네덜란드에 EUV 장비의 대중국 수출 금지를 요구하는 방식으로 사실상 SMIC의 7나노 이하 선단공정 발전을 제약하고 있음. 
- 어쨌든 미국이 10나노 레드라인을 엄격히 유지한다고 해도 SMIC는 라이선스를 통해 14나노, 12나노 공정 라인 가동은 유지할 수 있음. 



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